관련 통계자료 다운로드 TCS-지멘스법 사용한 폴리실리콘 생산공정
TCS-지멘스법을 사용해 정크타입 폴리실리콘을 생산하기 위해서는 먼저 약 98∼99.5% 순도의 메탈실리콘(MG-Si)과 고순도 염화수소(HCI)와 반응시킨다. 그러면 트리콜로실란(TCS), 데클로실란(DCS), 테트라콜로실란(STC) 등이 생산되며 증류과정을 통해 고순도의 TCS를 다른 부산물로부터 분리한다. 이 공정의 마지막 생산물인 고순도 TCS에는 약 20% 실리콘이 포함돼 다음 공정인 후공정으로 공급된다.
TCS와 수소를 고온에서 반응시키면 흡열반응을 통해 TCS의 분자고리가 깨지고 TCS에 포함된 실리콘 분자들은 반응기 내부의 실리콘 파일먼트에 석출된다.
실리콘의 석출이 완료되면 반응을 종료하고 반응기에서 실리콘 로드를 빼내 정크형태로 분쇄하면 폴리실리콘이 완성된다. 공정 반응 시에 생성되는 부산물은 분리돼 각 공정으로 재회수 된다.
함봉균기자 hbkone@etnews.co.kr