테스(대표 주숭일)는 반도체 전공정장비 시장에서 독자적인 국산 장비 개발을 목표로 2002년에 설립됐다.
반도체 소자업체에서 다년간 경험을 쌓은 우수 연구인력과 반도체장비 개발·개조 노하우 확보를 통해 높은 연구개발(R&D) 능력을 보유하게 됐다. 이러한 성과를 통해 테스는 2007년 태양전지 장비사업에 진출했다. 태양전지 제조 핵심 장비인 플라즈마화학증착장비(PECVD)가 테스의 주력인 반도체 증착장비(CVD)와 기술 유사성이 높고 접목성이 높다는 이점을 고려한 것이다.
테스의 PECVD 주요 모델은 테슬라 1500T와 테슬라 5X다. 테슬라 1500은 벌크 태양전지용 양산 장비로 인라인 타입이며, 테슬라 5X는 대면적 박막형 태양전지용 PECVD로 클러스터 타입이다. 테슬라 5X는 인라인 타입과는 달리 멀티챔버를 채용한 형태로 장비의 가동률 및 유지보수 측면에서 강점을 보유해 차세대 태양전지 제조라인에서 각광을 받을 것으로 기대된다.
테스는 설립 이후 매출액의 상당액을 R&D에 투자하고 있다. 특히 태양전지 장비에 대한 사업 결정이 이뤄진 2007년부터는 R&D 투자가 크게 늘었다. 2008년과 2009년에는 매출액 대비 20％ 이상의 큰 돈을 투자했고 이 중 상당 부분이 태양전지 장비 개발을 위해 쓰였다.
투자 성과로 실리콘 박막형 태양전지를 위한 R&D 솔루션 시스템, CIGS(구리·인듐·갈륨·셀렌) 증착장비, 차세대 고효율 태양전지용 증착 장비 등의 개발·양산에 성공했다. 또 차세대 주력제품이 될 박막형 및 벌크 태양전지용 PECVD 개발에서도 상당한 진척을 거뒀다.
테스는 앞으로도 태양전지 장비와 관련된 투자 및 장비 개발을 지속할 계획이다. 개발이 완료된 테슬라 TS200(R&D용 토털 솔루션 시스템)은 현재 국내외 기업연구소 등을 상대로 마케팅을 벌이고 있다. 테슬라 5X와 테슬라 1500T는 올해 내에 개발이 완료될 예정이다.
또 고효율 박막 태양전지 제조에 필요한 스퍼터 개발과 향후 태양전지의 주력으로 부상할 CIGS, 카드뮴텔룰라이드(CdTe) 태양전지의 기술 개발도 진행할 예정으로 중장기 성장 로드맵에 맞춰 R&D를 진행하고 있다.
주숭일 사장은 “반도체 양산라인에서 충분히 검증받은 기술력에 다년간 경험을 축적한 태양전지 연구인력을 더해 고객 대응에 임하고 있다”며 “기존 경쟁사들에 대응하기 위해 우수한 성능 및 원가 경쟁력을 갖춘 장비를 개발해 고객을 만족시키겠다”고 말했다.
그는 또 “틈새시장으로서 R&D용 장비 공급에 박차를 가할 계획”이라며 “양산용 제조라인에 비해 효율 향상 및 신공정 개발을 평가할 만한 R&D 라인이 부족한 지금의 태양전지 제조 환경을 극복하기 위한 방법의 일환으로 효율적인 투자를 통해 R&D 효과의 극대화를 이룰 수 있는 방법을 제시하는 것”이라고 덧붙였다.
유선일기자 ysi@etnews.co.kr