순수 국내 기술로 개발된 발광다이오드(LED)용 유기금속화학증착장비(MOCVD)가 LED 본고장인 일본 시장에 진출할 전망이다.
주성엔지니어링(대표 황철주)은 최근 일본 반도체 설비 유통업체와 MOCVD 총판계약을 위한 양해각서(MOU)를 교환했다고 14일 밝혔다. 이 일본회사는 연말께 주성엔지니어링과 본계약을 체결한 뒤, 내년부터 일본 내 LED 업체들을 대상으로 본격 영업활동에 들어갈 계획이다. 이에 앞서 주성엔지니어링은 지난해 지식경제부 `신성장동력 스마트 프로젝트` 일환으로 진행된 `고생산성 MOCVD 개발` 과제를 지난달 완료했다. 이를 통해 외산 장비 대비 생산성이 두 배가량 높은 MOCVD를 개발하는 데 성공했다. 이 회사 장비는 한 번 가동에 2인치 기준, 102장의 에피웨이퍼를 생산할 수 있다. 국내 업체들이 주로 사용하고 있는 독일 · 미국 장비와 비교해 생산량이 두 배 정도 많다. 에피웨이퍼는 직육면체 모양으로 자르면 곧바로 한 개의 LED 칩이 된다. 주성엔지니어링은 연말께 1회 가동 생산량이 124장에 이르는 신장비도 선보일 예정이다.
한편, 스마트 프로젝트를 통해 개발된 MOCVD는 LED 칩 업체인 에피밸리에 납품돼 시제품 테스트를 성공적으로 마쳤다. 에피밸리 외에 또 다른 LED 칩 업체에 같은 장비를 공급했으며 연말께 두 개 회사에 신규로 MOCVD를 공급할 예정이다. 이 장비들은 약 3개월간의 조율 작업을 거쳐 양산라인에 적용할 수 있을 것으로 기대된다. MOCVD가 LED 전공정 핵심장비지만 지금까지 외산에 전적으로 의존해왔다는 점에서 후방산업 경쟁력 강화에 기여할 전망이다. 특히 주성엔지니어링은 처음부터 해외 시장을 겨냥, 기존 업체들의 특허를 침해하지 않도록 자체기술로 장비를 개발했다.
김헌도 부사장은 “MOCVD 관련 연구에 착수한 지 약 9년 만에 공급 결실을 보게 됐다”며 “여러 개의 챔버를 이어 붙여 생산성을 극대화한 `클러스터 형` MOCVD도 곧 선보일 것”이라고 말했다.
◆유기금속화학증착장비(MOCVD)=사파이어 웨이퍼 위에 질화갈륨(GaN) 층을 성장시켜 에피웨이퍼로 만들어주는 장비. MOCVD서 생산된 에피웨이퍼를 직육면체로 자르면 LED 칩이 된다. 현재 LED 업체들이 사용하는 MOCVD는 대부분 독일 · 미국 제품이다.
안석현기자 ahngija@etnews.co.kr