크린시스템코리아가 개발한 ‘하이브리드 플라즈마 스크러버’는 반도체 제조 공정에서 발생하는 특수 온실가스를 탁월하게 처리하는 장치다.
반도체 제조 공정에서는 이산화탄소보다 수천배에서 수만배까지 온난화 유발지수가 높은 특수가스, 즉 과불화화합물(PFC)을 다수 사용한다. 이산화탄소의 온난화 지수를 1이라고 하면 사불화탄소(CF₄)는 6500배, 삼불화질소(NF₃)는 8000배 그리고 육불화황(SF6)은 무려 2만3900배나 된다. 특히 사불화탄소는 분해가 어려운 대표적인 물질로 대용량 처리 공정 개발이 시급한 실정이었다.
하이브리드 플라즈마 스크러버와 기존 분해장치의 큰 차이점은 고열의 플라즈마 화염을 이용, 처리용량은 늘리면서도 오히려 효율은 높인 점이다. 플라즈마와 탄화수소가 연소하면서 상승작용을 일으켜 처리효율을 크게 높인 것이다.
기존 일반 스크러버는 분당 100리터의 과불화화합물을 처리했으며 처리효율도 90% 정도였다. 반면에 하이브리드 플라즈마 스크러버는 분당 1000리터를 처리하면서 처리효율을 95% 이상으로 높였다.
이에 더해 크기가 작아져 좁은 공간에도 설치가 가능해짐에 따라 설치비용은 50% 이상, 운영비용은 20% 이상 절감 할 수 있다.
이번 기술 개발로 과불화화합물의 대용량·고속·고효율 처리가 가능해졌으며 반도체 공정에서 나오는 모든 형태의 배출가스를 동시에 처리할 수 있게 됐다. 또 기술적 유연성이 커 기존 공정과 신규 반도체 공정에 모두 적용이 가능하다. 이 밖에 수입대체 효과와 함께 기술 수출도 노릴 수 있게 됐다.
김용주기자 kyj@etnews.co.kr