[화요기획-21세기 프론티어사업]나노메카트로닉스기술개발산업단

　 25GB 분량의 데이터를 저장하고, 고해상도 영상과 이미지, 음향을 구현할 수 있는 기록매체로 DVD를 대체할 차세대 저장매체 ‘블루레이 디스크’, 성에와 김서림 방지 ‘투명 히터’. 모두 나노메카트로닉스기술을 활용해 인류 생활을 더욱 편리하게 만든 작품이다.

　2002년 한국기계연구원에 둥지를 튼 나노메카트로닉스기술개발사업단(단장 이상록)은 국내 나노메카트로닉스 기술을 한 단계 높이는 데 기여했다. 나노메카트로닉스기술이란 10억분의 1m에 불과한 나노물질을 다루는 나노과학에 기계, 전기, 전자기술을 접목한 것이다.

　설립초기 100㎚급 패턴공정과 패터닝 장비 개발에 성공한 데 이어, 단계를 높여 50㎚ 나노소재 조립공정과 물성측정 및 해석기술을 개발했다. 최근 3년간에는 초일류 원천기술인 30㎚ 이하 나노패터닝공정과 장비 개발, 10㎚급 패턴공정, 그 이하 나노소재 조립공정의 개발 작업도 막바지에 서 있다. 그러면서 관련 DB구축과 설계 SW 개발 성과도 내고 있다.

　이렇게 개발된 기술과 공정은 연구 단계에 머물지 않고 기업에 이전돼 속속 사업화 성과로 나타나고 있다. 대표적인 것이 나노임프린트 리소그래피를 이용한 나노패턴 제조와 응용기술을 휴템에 이전한 것이다. 휴템은 나노 임프린트 관련 장비로 5억4000만원의 매출 성과를 거뒀다. 또 소로나 역시 나노임프린트용 스탬프 표면처리 장비 매출로 1억원의 매출 성과를 올렸다. 또 6인치급 웨이퍼공정용 장비를 개발하는 새한나노텍에 50㎚급 나노임프린트 장비개발 기술을 이전하는 데 성공했다.

　

　◇인터뷰 이상록 단장

　“나노메카트로닉스기술개발사업단은 우리 실생활에 도움을 주는 나노제품을 친환경적으로 대량생산하기 위한 나노공정과 장비개발을 목표로 사업을 추진하고 있습니다.”

　이상록 단장은 사업단의 특징을 이렇게 설명했다. 그러면서 동시에 세계적 수준의 기술도 확보했다고 덧붙였다.

　그는 “현재 30㎚급 3차원 나노구조물을 제조할 수 있는 공정·장비기술과 측정장비 개발 등 세계적 수준의 원천기술을 확보했다”며 “이를 통해 세계 최초로 탄소나노튜브를 대량생산 할 수 있게 됐다”고 말했다.

　그는 앞으로 개발된 기술을 더욱 심화하고 이의 활용과 확산을 촉진하는 데 힘을 쏟을 계획이라고 강조했다.

　이경민 기자 kmlee@etnews.co.kr