텔리오솔라는 대면적 구리·인듐·갈륨·셀레늄(CIGS) 박막 태양전지의 인라인형 대량생산 기술 특허를 등록했다고 30일 밝혔다.
텔리오솔라는 ‘대면적 하향식 CIGS 고속성막공정 시스템 및 방법(Patent number : 10-0108872)’을 사용하면 대면적 CIGS 광흡수층 박막의 대량생산이 가능하다고 설명했다.
이 기술을 이용하면 대형의 유리 기판의 처짐 없이 기판을 선형으로 롤러 이송을 실현한다. 또 유리 기판의 가열온도 550도를 유지하도록 기판 캐리어의 상하부에서 가열이 용이하도록 해 대형 CIGS 박막 고속증착이 가능한 기술이다.
노갑성 텔리오솔라 사장은 “이 특허기술을 통해 기존 30분가량 걸리던 CIGS 광흡수층 박막 증착 속도를 5분 이내로 단축시키고 유지보수기간을 최소화해 생산성을 획기적으로 향상할 수 있다”고 밝혔다.
한편, CIGS 박막 태양전지는 구리와 인듐·갈륨·셀레늄 등 4가지 화합물을 유리 기판에 증착해 만드는 화합물 태양전지다.
함봉균기자 hbkone@etnews.co.kr
