반도체 성능에 영향을 미치는 미세영역을 정확히 측정할 수 있는 반도체 초정밀 분석기기가 국내 기업에 의해 상용화됐다.
케이맥(대표 이중환)은 반도체 극초박막 분석기기 `나노 마이스(Nano-MEIS)`를 개발하고 시연회를 성공적으로 개최했다고 4일 밝혔다.
나노 마이스는 케이맥이 지난 5년간 개발해온 반도체 공정용 초정밀 분석기기다. 기존 분석 방식 한계를 극복하고 상용화했다.
케이맥은 극한 미세 영역을 측정해 반도체 웨이퍼 테스트 패턴 분석에도 사용할 수 있도록 제품을 새로 설계해 반도체 표면 분석의 새 지평을 열었다는 평을 받았다.
그간 반도체 및 바이오 분야에서 미세 영역에 대한 표면 분석 또는 물질의 성분을 분석하기 위해선 정밀 분석기기 활용이 불가피했다. 최근 이러한 미세 영역이 나노 사이즈로 작아지면서 이를 정확히 구현하고 측정하는 것이 반도체 성능을 향상시키는 핵심 기술로 인식돼 왔으나, 기존 장비로는 측정이 불가능하거나 측정 방식이 불편해 어려움을 겪어왔다.
나노 마이스를 이용하면 반도체 원자층 두께까지 측정할 수 있다. 분석 시간은 기존 장비 대비 95%까지 대폭 단축시킬 수 있다고 회사 측은 설명했다.
이중환 사장은 “나노 마이스 개발을 통해 케이맥이 반도체 시장에 진입한다는 의미 외에도 우리 기술로 세계 최고, 세계 최초의 과학기기를 만들어냈다는 데 자부심이 크다”며 “이를 계기로 글로벌 반도체 산업을 지속적으로 선도해 나가겠다”고 말했다.
대전=신선미기자 smshin@etnews.com