파인 패턴 마스크 세정방식에 건식 공정이 국내 처음으로 개발됐다.
롤투롤 진공 증착장비 전문기업인 에이티(대표 김민호)는 최근 재료연구소 플라즈마코팅연구실 김도근 박사 연구팀과 공동으로 유기발광다이오드(OLED) 및 선형이온소스(LIS:Linear Ion Source) 공정용 `파인 패턴 마스크(Fine Pattern Mask)` 건식 세정 설비·공정을 개발했다고 29일 밝혔다.
현재 주로 사용되고 있는 파인 패턴 마스크 세정방식은 습식 공정으로, 별도의 세정라인을 구성해 설비 투자비가 높고, 세정 시간이 오래 걸리는 단점이 있다.
특히 OLED 공정에 사용되는 파인 패턴 마스크는 제작비가 많이 들고, 세정 품질이 제품의 품질에 직접적으로 영향을 미치는 단점이 있다. 이에 따라 업계에서는 패턴 마스크 손상이 적고 불순물 유입이 거의 없는 건식 세정 공정과 장비 개발에 대한 요구가 높았다.
에이티와 재료연구소는 2년간의 연구개발(R&D) 끝에 자체 개발한 `선형이온소스(LIS)` 및 이온빔 표면처리 공정을 활용해 건식 세정방식 개발에 성공했다. 재료연구소의 김도근 박사 연구팀은 LIS 이온 소스 원천기술을 제공했으며, 에이티는 원천기술을 제품화하고 시스템화하는 역할을 했다.
이번에 개발된 장비는 세정 시간 단축은 물론이고 패턴 손상이 없고 불순물 유입이 없는 진공상태의 세정공정이 가능하다는 것이 업체 측 설명이다.
또 기존 OLED 증착설비와 함께 클러스터 타입(Cluster Type)이나 별도 세정 라인으로 구성이 가능해 설비 투자비도 최소화할 수 있다는 것이 장점이다.
이번 장비는 1m 이상 대면적 크기에 적용이 가능하기 때문에 OLED 설비시장에 적합하지만, LIS 분야는 2m 이상 광폭 이온빔 및 플라즈마를 이용한 인라인 및 롤투롤 표면개질, 증착 설비에도 적용이 가능하다.
에이티는 이번 건식 기반의 파인 패턴 마스크를 관련 기업 신규 라인과 교체 라인 수요에 적극 대응할 계획이다. 특히 신규 라인에 이번 제품이 적용되면 셀 증착 클러스터에 묶여 모듈화가 가능할 것으로 기대하고 있다.
김민호 사장은 “파인 패턴 마스크 손상이 적은 세정 방식에 대한 기업들 요구가 높아 향후 이 장비의 활용도가 확대될 것”이라며 “이 제품 개발로 올해는 최소 200억원의 매출을 달성할 것으로 기대한다”고 말했다.
대구=정재훈기자 jhoon@etnews.com
