독일 유리 전문업체 쇼트는 최대 950°C의 작동 온도를 구현한 글라스 세라믹 `넥스트리마`를 국내 디스플레이 기업에 공급했다고 31일 밝혔다.
쇼트는 지난 해 10월 이 제품을 발표한 후 첫 고객을 확보했다.
이 유리는 고온에 강해 반도체와 디스플레이 공정에 사용되는 고온 챔버의 이너 라이닝(inner lining)과 열차단막에 적합하다. 그동안 반도체디스플레이 장비에는 내열성이 600~700℃ 정도인 세라믹 유리가 사용돼왔다. 고온에 강한 유리를 사용하면 수명이 길어진다.
넥스트리마는 평판디스플레이 공정에서 산업용 오븐 외 모든 박막트랜지스터(TFT) 열처리 공정에 사용할 수 있다. 디스플레이나 웨이퍼 생산 캐리어 플레이트에도 활용 가능하다. 넥스트리마는 표준 두께가 2~8㎜에 불과해 얇은 캐리어플레이트를 만들 수 있다. 얇은 캐리어 플레이트를 만들어 사용하면 가공 주기가 단축돼 비용을 절감할 수 있다.
쇼트코리아 김동필 이사는 “넥스트리마를 가장 먼저 주문한 곳이 한국 디스플레이 제조 기업”이라며 “이어 한국 반도체 디스플레이 관련 기업들과 공급 논의 중”이라고 말했다.
문보경기자 okmun@etnews.com
