주성엔지니어링(대표 황철주)은 옥사이드(산화물) 박막트랜지스터(TFT)용 유기금속화학증착장비(MOCVD)를 대만 AUO에 공급했다고 18일 밝혔다.
옥사이드 증착을 위한 장비를 물리기상증착장비(PVD)가 아닌 MOCVD로 개발한 것은 주성이 세계 처음이며, AUO는 지난 해 중반부터 이 장비를 테스트한 후 첫 채택했다. MOCVD 방식은 PVD 방식 대비 이동도가 3배 이상 증가하고 전력소모량 또한 20% 이상 줄이는 효과가 있다고 주성은 설명했다.
옥사이드 TFT는 비정질실리콘(a-Si)보다 전자이동도가 a-Si에 비해 20~50배가 높아 고해상도 디스플레이 구현이 가능하며, 전력 소모도 줄일 수 있다. 옥사이드가 플렉시블·투명·유기발광다이오드(OLED) 등의 차세대 디스플레이에 적용되고 있어, 주성엔지니어링은 이번 공급을 시작으로 세계 시장 확대에 주력할 계획이다.
주성엔지니어링은 이번에 MOCVD와 함께 LS(Local Space) 플라즈마화학증착장비(PECVD)도 공급키로 했다. LS PECVD는 플라즈마를 유리 기판과 이격시켜 필요한 부분에만 플라즈마를 발생시키는 장비다. 증착 과정에서 발생되는 파티클과 불순물을 제로 수준으로 제거할 수 있다.
이 회사 관계자는 “현재 세계적으로 차세대 디스플레이 핵심 기술 경쟁이 치열하게 진행되고 있다”라며 “이번 옥사이드 MOCVD와 LS PECVD의 첫 공급을 발판으로 급변하는 디스플레이 시장에서 가파른 매출 성장을 이끌어 내겠다”고 말했다.
문보경기자 okmun@etnews.com
