국내 연구진이 차세대 반도체와 정보저장 장치에 활용되는 강유전 메모리소자 분석 기술을 개발했다.
김윤석 성균관대 신소재공학부 교수 연구팀은 원자 현미경을 이용해 외부 전기장을 공급하면 분극이 바뀌는 강유전체 메모리소자 분석을 위한 다차원 나노분석기술을 개발했다고 22일 밝혔다.
차세대 메모리 소자 중 하나인 강유전 메모리소자에서 강유전 분석 거동 메커니즘 구명을 위해 현재 세계적으로 활발히 연구되고 있다. 그러나 강유전 분석을 위해 기존에 이용되는 전류 기반 거시적 분석 기술은 경, 공간적 분석이 불가능하다. 기존 원자현미경을 이용한 분석 기술도 분극 변화 분석 시간이 오래 걸려 정확한 분석이 어렵다는 단점이 있다.
연구팀은 원자현미경을 이용한 그리드 측정 시스템 기반 분석기술을 도입했다. 공간적인 분극 변화를 실시간 다차원적으로 분석하는데 성공했다.
김윤석 교수는 “기존의 강유전 분극 분석기술의 한계를 극복해 강유전 분극 변화를 공간적으로 관찰할 수 있게 해주고 다른 메모리소자 분석에도 이용할 수 있는 분석기술을 개발했다”며 “국내외 차세대 메모리 분석기술에 큰 파급효과가 있을 것”으로 기대했다.
독일 막스플랑크 연구소, 미국 오크리지 국립연구소와 공동으로 진행한 이번 연구 결과는 재료분야 세계 수준 학술지 `어드밴스드 평셔널머티리얼스`지 26일호 표지 논문으로 게재될 예정이다.
권동준기자 djkwon@etnews.com
