주성엔지니어링(대표 황철주)은 차세대 반도체 공정 장비를 미국 올버니 나노텍 캠퍼스에 공급한다고 23일 밝혔다.
올버니 나노텍 캠퍼스는 앤드류 M 쿠오모 뉴욕주 주지사가 차세대 반도체 산업을 위해 집중 육성하는 곳이다. 주성엔지니어링은 신소재 금속층을 제거하는 식각 장비를 공급한다. 또 공간과 시간 분할을 동시에 할 수 있는 반도체 증착 장비도 납품한다. 이 제품은 기존 화학증착(CVD)과 원자층증착(ALD)뿐 아니라 질화(Nitridation), 산화(Oxidation), 도핑(Doping)과 금속(Metal) 전극 증착 기능 등 다양한 공정에 적용할 수 있다.
주성엔지니어링은 뉴욕주립대 나노스케일 과학〃공학대(CNSE)와 차세대 반도체 공정용 식각 및 봉지 장비를 공동 개발하기로 합의했다.
황철주 사장은 “우리가 공급한 장비는 새로운 금속물질을 식각하는 공정에 적합한 솔루션”이라며 “미국 유명 대학과 협력해 차세대 반도체 장비 시장을 선점할 수 있는 기반을 마련할 것”이라고 말했다.
이형수기자 goldlion2@etnews.com