국내 중소기업이 세계 처음으로 나노 다이아몬드 연마재를 선보였다. 나노 다이아몬드의 특성을 활용한 독자적인 분산 기술로 틈새시장을 개척할 수 있을 것으로 기대된다.
네오엔비즈(대표 이규태)는 사파이어 웨이퍼용 나노 다이아몬드 연마재를 세계 최초로 개발했다고 25일 밝혔다.
미세 소자용 연마재에 이어 이 회사가 만들어낸 두 번째 나노 다이아몬드 연마재다. 네오엔비즈 관계자는 “연내 양산을 목표로 해외 고객사들과 협의 중”이라며 “미세 소자용 연마재를 포함, 나노 다이아몬드 연마재 시장을 적극 개척할 것”이라고 밝혔다.
이 회사가 내놓은 사파이어 웨이퍼용 연마재는 웨이퍼 표면을 나노 다이아몬드로 고르게 갈아내 연마제거율(MRP)을 높여 생산성을 향상시킨다. 지구상에 있는 광물 중 가장 단단하다는 다이아몬드의 고유 특성 덕에 다른 연마재로 갈았을 때보다 표면거칠기(Ra)가 낮다. 발광다이오드(LED)나 사파이어 글라스 등 고부가 완성품의 성능을 개선할 수 있다.
이 회사는 독자 기술로 나노 다이아몬드의 분산성을 개선했다. 나노 다이아몬드 입자에 일정 정도의 전하적 성격을 부여, 전기적 성질이 같은 물질끼리 서로에게서 떨어지려 하는 성질(척력)을 이용했다. 물·알코올·오일 등 여러 용매에 적용, 다양한 재질의 물체를 연마할 수 있다. 구현할 수 있는 최소 입자 크기는 20나노(㎚)다.
지난해 이 회사는 미세 소자용 나노다이아몬드 연마재 ‘NEOMOND-PM’을 출시했다. 미세 소자는 마이크로(㎛) 크기의 부품으로 반도체 칩과 기기를 연결하는 커넥터가 대표적인 예다. 소자의 표면이 거칠면 도금해도 전기 전도성 효율이 낮다. 표면에 이물질이 낄 가능성도 있어 그 소자가 탑재되는 전자기기의 성능이 떨어지고 제품 안정성이 저하된다.
그간 미세 소자 전문 업체들은 자체 기술로 이를 극복해왔으나 소요되는 비용과 시간이 많았다. 작은 크기 때문에 다루기 까다로워 아예 연마를 하지 않는 때도 다수였다. 이 회사 관계자는 “비용·시간을 쉽게 줄일 수 있어 연마를 피하던 업체는 물론이고 독자적으로 연마하던 업체들에서도 좋은 반응을 얻고 있다”고 덧붙였다.
김주연기자 pillar@etnews.com