다우코닝은 반도체 칩 생산 공정에 필요한 고순도 전구체 ‘헥사클로로디실란(HCDS)’의 생산 능력을 크게 확대했다고 7일 밝혔다.
HCDS는 반도체 칩 생산시 박막 증착 공정에서 중요한 역할을 한다. 수분에 민감하지만 물성이 안정적이고 변동성이 적다는 게 특징이다.
고품질의 실리콘 산화막이나 질화 실리콘 박막 증착을 추가하면 실란(silane) 혹은 디클로로실란(dichlorosilane)의 저온 대안 물질로 활용할 수 있다.
그동안 다우코닝은 클로로실란·메틸실란·모노실란 등과 같은 고품질의 특수 가스 전구체 물질을 글로벌 반도체 업계에 공급해 왔다
켄 사이버트 다우코닝 반도체소재시장 개발 책임자는 “이번 HCDS의 생산 능력 증대로 글로벌 반도체 시장 수요에 부합할 수 있게 됐다”고 말했다.
성현희기자 sunghh@etnews.com
