국제반도체장비재료협회(SEMI)는 한국반도체산업협회(KSIA)와 함께 SEMI EDA(Equipment Data Acquisition) 표준 4개의 한글본을 발간했다고 11일 밝혔다.
이는 지난해 시작한 ‘글로벌 협력형 450㎜ 웨이퍼용 공정장비 개발 및 표준화 연구사업’의 일환이다. SEMI 소프트웨어 표준 가운데 국내 반도체 업계가 자주 쓰는 9개 표준에 대한 한글화 작업에 이은 두 번째 프로젝트다.
SEMI EDA는 지난 2005년에 처음 만들어진 SEMI SW표준이다. 지난 1982년 반도체 장비를 제어하기 위해 개발된 반도체 전용 데이터 송수신 프로토콜 통신 표준 SECS/GEM(SEMI Equipment Communication Standards/Generic Equipment Message)과는 달리 반도체 장비 데이터를 감시한다. SECS/GEM보다 데이터 수집량이 많고 속도가 빠르다.
최근 반도체 공정이 점차 미세화되고 웨이퍼 대구경화가 진행되면 공정을 안정화시키기 위해 전보다 많은 양의 데이터를 빈번하게 수집해야 한다. SECS/GEM통신을 이용한 데이터 수집만으로는 한계가 있기 때문에 해외 반도체 수탁생산 업체(파운드리)나 칩 제조사들은 EDA를 활용하는 추세다. 김형수 SEMI 한국 정보제어 표준 기술위원회 위원장은 “대용량 데이터 활용에 대한 요구가 높아질수록 EDA의 잠재적 사용 가능성도 커지고 있다”며 “한글본을 통해 국내 엔지니어들이 쉽고 편하게 EDA를 적용할 수 있을 것”이라고 말했다.
한국 SEMI는 전문 인력 양성을 위해 한글본을 활용한 EDA 교육 프로그램을 기획하는 것도 검토 중이다.
이번에 한글본으로 발간된 EDA 표준 목록은 △E120-0414 CEM(Comment Equipment Model) 사양 △E125-0414 EqSD(Equipment Self-Description) 사양 △E132-0414 장비클라이언트 인증과 권한 부여에 대한 사양 △E134-0414 데이터 수집 관리 사양이다.
김주연기자 pillar@etnews.com