KAIST, 3차원 나선형 구조 반도체 제조 원천기술 개발

국내 연구진이 기존 대비 수백 배의 데이터를 저장할 수 있는 3차원 방식의 나선형 구조 반도체 제조 원천기술을 개발했다.

KAIST(총장 강성모) 나노과학기술대학원 윤동기 교수 연구팀은 한·미 연구진과 공동으로 자기조립(self-assembly) 현상을 이용해 매우 정밀한 나선형 나노 구조체를 만들어냈다고 20일 밝혔다.

윤동기 KAIST 교수
윤동기 KAIST 교수

이번 연구는 KAIST 나노과학기술대학원 김한임·이선희 박사과정(제1저자) 연구원이 주도하고 포항가속기연구소 신태주박사, 미국 메릴랜드주립대학 이상복 교수와 콜로라도주립대학 노엘 클락 교수가 참여했다.

이 연구결과는 국제학술지인 미국립과학원회보(PNAS) 10월 7일자에 게재됐다.

연구진은 이 기술로 3차원구조 중에서도 가장 구현하기 어렵다는 나선형 구조를 만들어 다양하게 변형하고 1㎚ 간격으로 조절하는 데 성공했다.

연구팀은 전기화학적 반응을 통해 만들 수 있는 다공성 양극산화알루미늄막을 이용해 수십 ㎚ 수준의 한정된 공간을 만들었다. 이후 수 ㎚ 수준에서 휘어져 있는 액정 분자가 형성하는 나선형 나노구조체를 그 공간 속에 형성시켜 독립적으로 제어된 나선 나노구조체를 구현하는 데 성공했다.

이 나노구조체는 나노채널 지름이 20~200㎚, 나선 반주기가 100~120㎚, 전체 막 두께는 5~수십㎛ 크기다.

이 기술을 활용하면 전자기장에 민감하게 반응하는 액정 소재의 고유성질과 융합해 고효율의 광전자 소자 개발이 가능할 것으로 연구진은 내다봤다.

지금보다 최소 수백 배 많은 데이터를 저장할 수 있을 뿐만 아니라, 공정단계를 획기적으로 줄여 제조비용도 크게 절감할 수 있을 것으로 전망했다.

윤동기 교수는 “액정물질이 형성하는 나선 나노구조체 제어의 물리·화학적 원리 규명에 처음 성공한 것”이라며 “결함구조를 공학적으로 최소화하는 작업이 이루어진다면 3~5년 내 상용화돼 차세대 신성장동력으로 자리하게 될 것”이라고 말했다.

대전=박희범기자 hbpark@etnews.com