코셈은 4일까지 서울 코엑스에서 열리고 있는 국내 최대 규모 반도체 전시회 ‘세미콘코리아 2015’에 테이블톱(Tabletop)주사전자현미경 ‘EM-10’과 PCDS(Particle Characteristic Diagnosis System) 장비를 출품했다고 3일 밝혔다.
EM-10은 세계에서 가장 빠른 진공시간을 자랑하는 주사전자현미경이다. 30초 이내에 진공을 마칠 수 있다. 시료 코팅을 하지 않아도 분석이 가능하다. 고배율로 시료를 관찰할 수 있도록 제작했다.
PCDS 장비는 반도체 공정 중 발생하는 미세 입자 특성을 분석할 수 있는 기기다. 실시간 미세 입자를 분석해 불량 원인을 빠르게 찾아 공정 수율을 높일 수 있다.
코셈에서는 이 장비가 삼성전자, LG디스플레이, SK하이닉스 등 국내 대기업 공정라인에 적용 시 수율 개선에 도움이 될 것으로 기대하고 있다.
김용주 코셈 기술연구소장은 “고객이 원하는 제품을 지속적으로 연구개발해 대한민국 전자현미경 산업을 주도할 것”이라고 말했다.
대전=신선미기자 smshin@etnews.com