KLA텐코는 16나노미터 집적회로(IC)용 첨단 계측 시스템인 ‘아처 500LCM’과 ‘스펙트라필름 LD10’을 출시했다고 6일 밝혔다.
아처 500LCM 오버레이 계측 시스템은 생산 과정의 전 단계에 걸쳐 정확한 오버레이 오류를 감지한다. 칩 제조사가 다중 패터닝 등 난이도 높은 패터닝 기법을 적용할 때 발생하는 오버레이 문제를 해결하는데 도움을 준다.
스펙트라필름 LD10은 핀펫, 3D 낸드 등 다양한 첨단 디바이스 제조에 사용하는 필름과 필름 스택을 정밀하게 검증하고 모니터링한다. KLA텐코 고유의 5D 패터닝 제어 솔루션을 구성하는 핵심 제품이다. 5D 패터닝 제어 솔루션은 리소그래피 모듈 안팎을 최적화하고 공정을 모니터링해 최적의 패터닝 결과를 도출한다.
아흐마드 칸 KLA텐코 부사장은 “이번 다기능 계측 시스템은 다양한 응용 분야에 걸쳐 계측 유연성을 높이는 혁신 기능을 다수 갖췄다”며 “현재 노드 수율을 높이고 다음 노드 기술을 연구하는데 도움을 준다”고 말했다.
배옥진기자 withok@etnews.com
