일본 반도체 장비 업체 아드반테스트는 벨기에 루벤 소재 IMEC연구센터가 ‘F7000 전자빔(EB) 리소그래피 시스템’을 연구 장비로 채택했다고 20일 밝혔다.
IMEC은 1984년 설립한 세계적 마이크로일렉트로닉스 첨단 연구 센터다. F7000 전자빔(EB) 리소그래피 시스템은 IMEC 나노일렉트로닉스 연구센터에서 미래 첨단 반도체 관련 기술 연구 개발을 수행하는 데 이용된다.
F7000은 10㎚급 공정제품을 노광하는 데 필요한 성능과 정확성을 갖췄다. F7000은 유니크 캐릭터 프로젝션 기능을 적용해 빠른 패터닝 속도로 복잡한 패턴을 노광할 수 있는 유연성을 갖췄다.
요세프 스크라에즌스톨러 아드반테스트 유럽 상무 겸 CEO는 “아드반테스트가 세계 최고 마이크로일렉트로닉스 공학연구센터인 IMEC과 협력해 반도체 제조 과학 발전을 위해 함께 일하게 돼 기대가 크다”고 전했다.
반도체 테스트장비 업체인 아드반테스트는 나노 기술 부문에서 선도적 전자빔 리소그래피와 계측 솔루션을 제공해왔다.
주문정기자 mjjoo@etnews.com