어플라이드머티어리얼즈는 10나노 이하에서 구리배선을 패터닝할 수 있는 ‘어플라이드 엔듀라 시러스 HTX 물리기상증착장비’를 20일 발표했다.
이번 장비로 구리배선 패터닝을 위한 티타늄 질화물(TiN) 금속 하드마스크를 제작할 수 있다. 티타늄 질화물 하드마스크 층으로 인한 응력은 초저유전상수 필름에 있는 패터닝된 좁은 선을 변형시키거나 무너지게 만드는 원인이 된다. 어플라이드 장비는 높은 식각 선택비와 응력 조절기능으로 수율을 향상시킨다고 회사 측은 설명했다.
순다르 라마무르시 어플라이드 금속증착제품사업부 총괄 책임자 겸 부사장은 “금속 하드마스크 필름의 정밀공학은 패터닝 한계를 해결하기 위한 핵심”이라며 “고유의 초단파(VHF) 기반 기술로 티타늄 질화물 필름의 압축부터 인장까지 응력을 조정하는 유연성도 제공한다”고 말했다.
배옥진기자 withok@etnews.com
