스마트폰 카메라로 10~20m 떨어진 사람 체온을 쉽게 체크할 수 있는 모바일용 비냉각형 적외선 센서 기술이 상용화 수준으로 세계 처음 개발됐다.
나노종합기술원(원장 이재영)은 반도체 공정을 이용한 모바일용 비냉각형 적외선 열영상센서 설계 및 제작 공정기술을 개발하는 데 성공했다고 29일 밝혔다.
기술원은 이날 적외선이미지 센서 전문기업 시리우스(대표 강민성)에 이 기술을 이전하기로 하는 계약도 체결했다.
기술이전 조건은 정액 기술료 2억원이다. 경상기술료는 매출에 따라 차등 지급하기로 했다. 매출액 500억원 미만은 2%, 1500억원 이상은 1.3%를 받는 조건이다.
적외선을 이용한 열영상카메라는 사람 눈으로 볼 수 없는 5~15㎛ 대역 원적외선 파장 영역을 볼 수 있는 장치다. 국내 기반기술은 취약한 편이어서 대부분 수입에 의존하고 있다.
중동호흡기증후군(메르스)에 걸린 환자 고열 체크에 없어서는 안 되는 장비다.
기술 개발자인 임성규 융합공정팀 책임연구원은 “적외선 열영상 이미지 센서 모듈 제품 소형화 및 공정단가 낮추기라는 두 마리 토끼를 모두 잡았다”며 “스마트폰을 포함한 모바일 기기 내장 활용 가능성에 새 지평을 열 수 있을 것”이라는 말로 기대감을 드러냈다.
이번에 개발한 기술은 마이크로볼로미터다. 이는 적외선카메라 감지소자다. 감지소자 제작에 보통 쓰이는 미세전자기계시스템(MEMS) 공정 대신 상보성금속산화막반도체(CMOS)로 대체했다. 이 부분이 세계 최초다. 소자 크기는 가로, 세로 5㎜다.
연구진은 소자 신뢰성 및 재현성에 가장 큰 걸림돌이 되는 폴리이미드 희생층 물질을 안정적인 비정질탄소층으로 대체했다. 이 덕분에 소자 수율을 8인치 실리콘 웨이퍼 공정에서 95%대로 끌어 올리는 데 성공했다. 소자 수명도 10년은 거뜬히 쓸 수 있다는 것이 연구진 설명이다.
기술이전 받은 시리우스 측은 이 기술에 자체 보유한 신호처리부를 결합시켜 1년 정도 보완한 뒤 내년께는 스마트폰 내장형 열영상 카메라 모듈을 제품으로 출시할 계획이다.
강민성 사장은 “적외선카메라 신시장 발굴과 해외시장 개척을 준비 중”이라며 “고열을 동반하는 전염성 질병에 대해 비접촉식 자가진단을 쉽게 할 수 있어 시장 수요가 엄청날 것”으로 기대했다. 그는 또 “그동안 첨단기술 전문 액셀러레이터 블루포인트파트너스 도움을 많이 받았다”고 덧붙였다.
이재영 원장은 이에 대해 “이 기술이전은 국가 출연 연구지원기관이 사물인터넷 분야에서 활용 가능한 대표적 스마트 센서 개발 성공사례”라며 “나노 관련 기업이 필요한 상용화 기술을 적극 개발, 사업화를 연계해 나갈 것”이라고 말했다.
대전=박희범기자 hbpark@etnews.com