LG디스플레이와 케이씨텍이 초음파를 활용한 대면적 디스플레이 코팅장비를 처음 개발했다.
전량 수입해 왔던 에어플로팅 코터를 대체하는 것은 물론이고 초박형 대면적 액정표시장치(LCD) 패널을 만드는 것도 용이해졌다.
LG디스플레이는 초음파를 활용한 대면적 디스플레이 코팅 장비 ‘초음파 플로팅 코터’를 개발했다고 8일 밝혔다. 초음파 플로팅 코터는 박막트랜지스터(TFT), 컬러필터 공정에서 마스크에 패턴을 형성하는 사진식각 과정에 쓰는 장비다. 일정한 진폭과 주파수를 가진 진동 에너지로 미세한 간격을 유지하며 코팅한다.
기존에 공기를 이용했던 에어 플로팅 코터보다 초박형 기판을 더욱 안전하게 부상시킬 수 있으며 구조가 단순해 유지 보수가 용이하다. 전량 수입에 의존했던 에어 플로팅 코터를 국산 기술로 대체할 수 있어 비용 절감 효과가 크다.
LG디스플레이 측은 초음파 플로팅 코터를 8세대 제조 공정에 도입할 때 비용 37%, 에너지 77%를 절감할 수 있을 것으로 기대했다.
장비 개발은 LG디스플레이가 지난 2013년 신기술장비공모제도를 이용해 협력사인 케이씨텍 개발 제안을 접수하면서 시작됐다. 양사는 연구개발 1년 6개월, 공정성능평가 6개월을 거쳐 양산에 성공했다.
회사는 올 하반기 LCD 생산 공정에 초음파 플로팅 코터를 적용할 방침이다.
정철동 LG디스플레이 생산최고책임자(CPO) 부사장은 “LG디스플레이는 국내 협력사와 LCD 장비·부품 국산화 공동 기술 개발에 노력하고 있다”며 “앞으로 협력사와 상생해 디스플레이 업계 경쟁력 확보에 더욱 매진할 것”이라고 말했다.
성현희기자 sunghh@etnews.com
