평판디스플레이 제조 공정에서 발생할 수 있는 1마이크로미터(㎛)급 초미세 불량을 기존 생산 속도를 유지하면서 검출할 수 있는 인라인(in-line) 검사장비용 머신비전 TDI 카메라가 나왔다. 초당 17만회까지 이미지 촬영이 가능한 170㎑급 카메라로 풀HD, 4K UHD 등 고화질 패널 품질·생산성 향상은 물론이고 차세대 8K UHD 패널 양산 공정까지 대응이 가능하다.
앤비젼(대표 김덕표)은 디스플레이 자동 광학검사장비용 고속·고감도 TDI 라인스캔 카메라 ‘엔에이치에스(ENHS) 12K’를 출시한다고 밝혔다. 50억원이 넘는 투자와 개발기간에만 3년이 걸린 제품으로 앤비젼 솔루션 기획을 바탕으로 텔레다인 달사, 슈나이더, 매트록스 등 글로벌 협력사 기술력이 결합됐다.
TDI(Time delayed & integration)는 동일한 이미지를 여러 장 촬영한 후 중첩시켜 선명한 이미지를 만드는 카메라 기술이다. 어두운 환경에서도 밝고 선명한 이미지를 얻을 수 있어 전체 제조공정 속도에 맞춰 픽셀 단위 검사가 필요한 디스플레이 패널 공정에 두루 활용된다.
앤비젼 ENHS 12K는 최고 속도 170㎑로 기존 제품 HS 12K(90㎑) 대비 속도 빠르기가 두 배에 달한다. 회사 측은 현존 TDI 방식 카메라 중 가장 빠른 속도라고 설명했다. 텔레다인 달사에서 개발한 최신 CCD TDI 기술이 적용됐다.
현재 8세대급 디스플레이 제조공정용 광학검사장비에는 보통 라인스캔 카메라 20~30대가 들어가 대면적 패널 하나를 마이크로미터 단위로 수십초 내에 검사를 끝낸다. 생산라인 전체 공정 속도에 맞추면서도 정밀한 검사가 이뤄져야하기 때문이다. 라인스캔 카메라 속도가 올라가면 같은 시간 내에 더 정밀한 품질 검사가 가능하다.
차세대 초고화질 디스플레이인 8K UHD 패널 양산 공정용 장비 시장도 바라보고 있다. 4K보다 4배 더 많은 픽셀을 기존 생산성을 유지하면서 정밀 검사하기 위해선 라인스캔 카메라 수를 늘이거나 카메라 속도가 빨라져야 한다. 하지만 한 검사장비 내에 넣을 수 있는 카메라 수에 한계가 있어 속도를 높인 ENHS 12K 활용도가 높다는 평가다.
앤비젼은 3년여 전부터 머신비젼 솔루션 최종고객인 디스플레이 제조업체와 장비업체를 대상으로 기술 수요를 파악, 제품을 기획했다. 제품명 앞에 붙은 ‘EN’은 앤비젼을 의미한다.
현재 일부 장비업체와 제품 적용을 위한 성능테스트를 진행하고 있다. 기존 HS 12K보다 세로 길이는 다소 높아졌지만 가로폭은 동일하게 유지해 호환성을 확보했다.
앤비젼 관계자는 “차세대 LCD, OLED 제조 공정에서 1㎛급 초미세 불량을 인라인으로 검사할 수 있는 최초이자 유일한 카메라”라며 “글로벌 디스플레이 시장 경쟁이 치열한 상황 속에서 고객이 생산성과 품질 경쟁력을 확보하는 데 기여할 것”으로 기대했다.
박정은기자 jepark@etnews.com
