반도체 공정에 쓰이는 특수가스, 액체 화학물 생산업계 1분기 영업이익이 전년 대비 최고 66% 급증했다. 삼성전자, SK하이닉스 등 영업이익이 급감한 반도체 업체 실적과 반비례해 증가한 것이어서 주목된다.
18일 업계에 따르면 SK머티리얼즈 1분기 매출은 973억원으로 지난해 동기 대비 30% 늘었다. 영업이익은 344억원, 매출액 대비 영업이익률은 35%다. 영업이익은 지난해 동기 대비 59% 증가했다.
SK머티리얼즈는 세계에서 NF3를 가장 많이 생산한다. NF3는 반도체 공정에서 장비 내에 남은 잔류물을 제거하는 데 쓰는 세정용 가스다. 올해 공장 증설을 끝마치면 NF3 연간 생산능력은 8600톤이 된다.
효성 화학사업부는 1분기 매출 2809억원과 영업이익 167억원을 기록해 지난해 동기 대비 각각 22%, 19% 증가했다. 효성 관계자는 “NF3 매출은 38% 늘었다”면서 “NF3 생산 공장이 3월부터 가동됐기 때문에 공장 증설분이 본격 반영되는 2분기 매출은 더 커질 것”이라고 내다봤다.
특수가스 업체 후성의 1분기 매출은 602억원, 영업이익 84억원이다. 매출은 지난해 같은 기간보다 25% 증가했다. 영업이익은 3배 이상 늘었다. 후성은 육불화부타디엔(C4F6), 육불화텅스텐(WF6)을 생산한다. C4F6는 반도체 에칭가스로 웨이퍼에 찍힌 패턴을 식각하는데 쓰인다. WF6은 반도체 공정에서 메탈 실리콘 증착에 사용되는 특수가스다.
후성 관계자는 “매출에서 특수가스가 차지하는 비중은 10~15%”라면서 “생산 능력이 커지면서 특수가스가 매출에서 차지하는 비중이 늘었다”고 설명했다.
감광액, 액체화학물 등을 생산하는 동진쎄미켐은 1분기 매출 1906억원, 영업이익 166억원을 기록했다. 영업이익 역시 지난해 동기 대비 66% 증가했다. 감광액은 웨이퍼 위에 패턴을 입히는 노광 공정에서 빛에 반응하는 액체다. 액체화학물은 식각액, 현상액, 박리액, 신너 등을 말한다.
국내 반도체 제조사에서 사용되는 식각액 대부분을 생산하는 솔브레인과 이엔에프테크놀로지의 실적도 함께 올랐다. 두 업체 모두 영업이익이 40% 이상 증가했다. 솔브레인의 1분기 매출은 전년 동기 대비 22% 증가한 1723억원이다. 영업이익은 315억원으로 47% 늘었다. 이엔에프테크놀로지는 매출 801억원, 영업이익 99억원을 기록했다. 각각 11%, 42% 증가했다.
두 업체는 삼성전자, SK하이닉스 반도체 공장에서 쓰는 식각액 대부분을 공급한다. 업계는 삼성전자 식각액 점유율을 솔브레인 85%와 이엔에프테크놀로지 15%, SK하이닉스에는 각각 50% 비율로 납품하고 있는 것으로 추산한다.
<주요 반도체 소재 기업 2016년 1분기 실적(※ ()는 지난해 동기 대비 증가율)>
이종준기자 1964winter@etnews.com