황성우 삼성전자종합기술원 전무와 정준호 한국기계연구원 책임이 `나노코리아 2016` 개인부문 산업통상자원부 장관상을 각각 수상한다.
황성우 전무는 게르마늄 웨이퍼 위에 단결정 그래핀을 성장시키는 방법을 개발했다. 황 전무가 개발한 그래핀 성장법은 2014년 4월 사이언스지에 소개됐다. 같은 해 대한민국 10대 기술로 선정됐다.

세계 최초로 그래핀과 기판 사이 상호작용을 이용해 그래핀 포논 컨트롤에 성공했다. 고체의 물리적 특성을 원자 레벨에서 확인했다. 주사형 터널링 현미경이 사용됐다. 그래핀 포논 특성을 제어하는 기술 관련 연구성과는 지난해 6월 네이쳐 커뮤니케이션즈에 게재됐다.
황 전무는 2007년부터 미래창조과학부 `타임도메인 나노기능소자연구단` 단장을 맡았다. 2015년부터 나노코리아 전시부분 위원장으로 활동하고 있다.
정준호 박사는 14년간 한국기계연구원에서 일했다. 나노 임프린트 공정 원천기술 개발과 산업화를 연구했다. 국내외에서 출원·등록한 특허 개수는 143건이다. 해외 기술이전 사례 1건을 포함해 모두 6건의 기술을 이전했다. 기술 이전료는 3억4500만원이다.

나노 임프린트 공정은 나노 스펙트럼 센서 등 나노 광부품 대량 생산을 가능하게 하는 공정이다. 나노 스펙트럼 센서는 일반 이미지 센서보다 구분도가 더 세밀하다. 내시경 검사 등에서 일반 이미지 센서로 구분하지 못하던 이상 부위를 발견할 수 있다. 나노 임프린트 공정 기술은 미국으로 이전됐다.
3차원 나노 금형 제작기술을 개발해 2012년 나노 분야 학술지 `스몰` 내부 표지 논문으로 선정됐다. 나노 임프린트 공정으로 나노 와이어기반 소자를 양산하는데 필요한 핵심 기술이다.
정 박사는 2009년부터 2014년까지 5년간 산업통상자원부 `전자소자용 대면적 나노구조체 제작 및 응용 플랫폼 기술` 사업을 총괄했다. 이 사업에서 개발된 기술은 중소기업 6곳으로 이전됐다.
이종준기자 1964winter@etnews.com