반도체 장비 부품업체 'MKS 파워솔루션즈아시아(PSA)'가 전력 생산량을 대폭 개선한 반도체 장비 핵심 부품 2종을 연내 선보인다. 미국에 본사를 둔 MKS는 국내에서 플라즈마 관련 부품 연구개발(R&D) 인력을 발굴, 반도체 장비 및 부품 생태계 고도화에도 기여하겠다는 방침이다.
MKS PSA는 올해 말까지 새로운 'RF 제너레이터'와 'RF 매처'를 선보일 계획이라고 9일 밝혔다.
제너레이터는 반도체 공정에서 쓰이는 플라즈마를 만들기 위한 전력을 생성하고, 매처는 제너레이터에서 발생한 전력을 손실 없이 반도체 장비로 전달하는 역할을 한다. 글로벌 반도체 부품 시장에서 기존 제너레이터가 생산하는 전력 수준은 수십㎾ 수준이지만, MKS가 발표하게 될 제품의 전력 생산은 기존의 두 배 수준이 될 예정이다.
MKS PSA 관계자는 “플라즈마에 전달되는 전력 수준이 높을수록 더 깊고 미세한 패턴 식각이 가능해진다”고 설명했다.
제너레이터와 매처는 자동차 엔진과 같은 역할을 하는 반도체 장비 핵심 부품이다. 실리콘 웨이퍼를 설계 회로에 맞게 깎고(식각), 웨이퍼 위에 얇은 막을 씌우는(증착) 공정 등 플라즈마가 필수적으로 쓰이는 장비에 이 부품들이 들어간다. 반도체 공정 미세화로 플라즈마 활용도가 높아짐에 따라, 제너레이터와 매처도 덩달아 업계 주목을 받고 있다.
미국에 본사가 있는 MKS는 지난해 20억7500만달러(약 2조3600억원) 매출을 기록한 세계적인 반도체 부품 기업이다. 2014년 한국 업체 플라즈마트를 인수 합병해 MKS PSA를 출범시켰다.
MKS의 모든 플라즈마 관련 부품 연구개발은 MKS PSA 대전사업장에서 이뤄진다. 국내 엔지니어들이 개발한 부품들은 세계적인 장비 기업인 어플라이드머티리얼즈, 램리서치 등 글로벌 장비 제조사에서 활용한다.
MKS PSA는 점차 미세화하는 반도체 공정에 대응하는 기술 개발에 매진한다. 주파수 간 간섭을 최소화하고 전력을 효율적으로 전달하는 요소 기술도 개발 중이다. 이미 업계에서 유일하게 3중 주파수로 전력을 전달하는 시스템을 개발, 양산한다.
특히 이 회사는 부품 연구개발 인력을 육성해 국내 반도체 생태계 조성에도 기여하겠다는 계획이다.
MKS PSA 차세대 기술을 총괄하는 허진 상무는 “국가 연구기관이 밀집한 대전에서 각 기관들과 협력연구를 진행하고 있다”며 “국내 부품 기술 향상과 인력 확대를 도모할 것”이라고 말했다.
현재 MKS PSA 인력 60% 이상이 연구개발 엔지니어 인력으로 구성됐다. 이 중 30% 이상이 석·박사급 인력이다.
허 상무는 “올해 10% 이상 인력을 충원해 기술 개발 속도를 올릴 것”이라고 덧붙였다.
강해령기자 kang@etnews.com