표준연, 중소기업 기술로 반도체 산화막 두께 측정 난제 해결

한국표준과학연구원(KRISS)이 국내 중소기업 기술로 개발한 첨단 측정장비를 통해 반도체 초박막 두께 측정이라는 기술 난제를 해결했다.

23일 대전시 유성구 케이맥 연구소에서 KRISS 김경중 책임연구원(왼쪽)과 케이맥 연구진이 중에너지이온산란분광기(MEIS)로 초박막 두께 측정 결과를 살펴보고 있다.

대전=이동근기자 foto@etnews.com