큐알티가 국내 유일 반도체 구리 배선 회로 수정 기술을 바탕으로 반도체 불량 분석 기술 서비스를 강화한다.
큐알티는 전자이온빔(FIB) 첨단 검사 장비를 이용해 반도체 미세 회로를 수정하는 서비스를 제공하고 있다고 17일 밝혔다. 반도체 금속 배선 배치도를 기반으로 수정이 필요한 부분을 확인한다.
반도체 금속선 소재로 알루미늄, 구리가 사용된다. 그러나 반도체 미세 공정 과정에서 성능 저하를 막기 위해 구리 배선을 주로 사용한다. 특히 65나노 반도체에서 전기적 성능 및 신뢰성 보장을 위해 구리선을 사용해야 하는데 작업 난도는 올라간다.
큐알티는 FIB 장비와 구리선 회로 수정 과정에서 다양한 데이터와 기술 노하우를 축적했다. 반도체 제조시 제약 없이 회로 수정이 가능, FIB 장비 통해 패턴 확인도 가능하다.
큐알티는 해당 기술을 바탕으로 반도체 미세회로 수정, 불량분석 서비스 모델을 적극 확대해 나갈 계획이다. 최근 광교 캠퍼스에 오픈랩도 마련했다.
전희석 큐알티 수석연구원은 “반도체 공정이 미세화, 고밀도화 되면서 시제품 생산 비용도 기하급수적으로 높아졌다”며 “생산 공정에서 FIB 회로 수정과 불량분석 서비스 시장은 앞으로 더 커질 것”이라고 말했다.
김지웅기자 jw0316@etnews.com
