루켄테크놀러지스, 한국광기술원 멤스 팹 활용 반도체 검사 부품 ‘M-POGO Pin’ 제조기술 개발

루켄테크놀러지스 M-POGO 테스트 소켓.
루켄테크놀러지스 M-POGO 테스트 소켓.

반도체 검사부품 전문기업 루켄테크놀러지스(대표 안윤태)는 한국광기술원 기업지원시설인 초소형정밀기계기술(MEMS) 팹 및 연구장비를 활용해 반도체 전기적 특성검사 핵심부품인 ‘M-POGO Pin’ 제조기술 개발에 성공했다고 20일 밝혔다.

M-POGO란 MEMS 공정을 이용해 세계 최초로 파인 피치(Fine Pitch, 고밀도)에 우수한 성능을 구현하는 반도체 테스트 소켓인 POGO Pin으로 반도체 패키지 테스트 공정에서 테스터와 제품을 연결하는 필수 소모성 부품이다. 낮은 저항과 반복 접촉 시 스프링성, 제품의 손상, 테스트 환경에서 검사 데이터 신뢰성을 제공한다. M-POGO Pin은 인공지능(AI)·자율주행·5세대(5G)통신 등에 활용하는 고집적·고용량 반도체 고주파수 검사 성능을 갖춘 핵심 부품이다.

2011년 한국광기술원 시험생산동에 입주한 루켄테크놀러지가 M-POGO Pin 기술로 만든 반도체 검사부품은 세계 최초로 신개념 MEMS 공정 기법을 이용했다. 검사 장비와 반도체 칩을 전기적으로 연결하는 부품으로 고성능 반도체 패키지 검사 사양에 적합한 제품이다.

M-POGO Pin은 크게 M-POGO 버티컬 프로브 카드와 M-POGO 테스트 소켓이 있다. M-POGO 버티컬 프로브 카드는 웨이퍼 상태의 반도체 집적회로(IC) 성능 테스트 시 검사장비와 반도체 웨이퍼를 연결해 전기적 특성치를 검사하는 부품이다. M-POGO 테스트 소켓은 패키지가 완료된 반도체 IC 성능 테스트 시 검사 장비와 디바이스를 연결해 전기적 특성치를 검사하는 부품이다.

루켄테크놀러지스 M-POGO 버티컬 프로브 카드.
루켄테크놀러지스 M-POGO 버티컬 프로브 카드.

이 회사는 인텔, 마이크론, 국내 메모리 회사 등 메모리와 비메모리 국내외 반도체 기업으로로부터 M-POGO 테스트 소켓 수주가 지속되고 있으며, 조만간 M-POGO 버티컬 프로브 카드 수주를 기대하고 있다.

올해 회사 실적은 전년 대비 50% 이상 증가한 약 410억원의 매출을 달성할 것으로 예상하고 있다. 생산량 증가에 대비해 지난해 광주시와 40억원 규모 신규 투자협약을 체결해 한국광기술원내 MEMS 팹 시설 확장과 설비 증설 등을 추진하고 있다. 50여명의 지역 인재 채용도 계획하는 등 고용 창출을 통한 지역경제 활성화에 크게 기여할 전망이다.

신용진 한국광기술원장은 “유망한 수도권 기업을 역내로 유치해 연구시설과 장비 인프라, 공정 기술지원 등 맞춤형 지원으로 기업의 기술역량을 확보해 제품 기술개발 및 양산화에 성공한 사례”라며 “앞으로도 광융합산업 기업의 성장 환경 조성을 위해 각종 지원을 아끼지 않을 것”이라고 말했다.

안윤태 루켄테크놀러지스 대표는 “초일류 중견 기업으로 성공하기 위해서는 많은 연구 개발이 필요하다”면서 “국가 연구기관의 연구 개발 사업에 지속적으로 참여해 반도체 및 디스플레이 검사부품과 검사장비 세계 넘버 원 회사로 성장해 가겠다”고 말했다.

광주=김한식 기자 hskim@etnews.com