서플러스글로벌의 용인 반도체장비클러스터가 지난해 11월 준공식을 마치고 본격 운영에 들어간 이후 글로벌 반도체 시장에서 선두를 달리는 국내·외 반도체장비 기업들이 속속 둥지를 트고 있다. 반도체 장비 클러스터는 현재 6만9천㎡(2만1천평) 규모로 오는 2030년까지 24만㎡까지 늘어난다.
연초 온투이노베이션을 시작으로 ASML, KLA 등 글로벌 반도체 장비 기업과 이큐글로벌, 한국반도체산업협회(KSIA) 등 국내 기업·기관이 잇따라 입주를 마치고 고객 기술 지원과 전문인력 양성 활동을 벌이고 있다.
특히, 오는 10월엔 원익홀딩스가 390여평대 제조센터를 마련해 6곳 기업이 이미 입주를 마친 데 이어 2~3곳 기업이 추가로 입주 시기를 조율 중인 등 용인 반도체장비 클러스터를 중심으로 국내외 기업이 지속해 모이고 있다.
이는 반도체 장비 클러스터가 정부가 오는 2042년까지 조성하는 반도체 국가산업단지(반도체공장 5개) 인근에 있는 데다 클린룸·항온항습 창고·리퍼비시 베이·사무실·제조시설 등 주요 기능을 한 공간에서 일괄적으로 제공하기 때문이다. 서플러스글로벌은 반도체 장비 재정비, 부품· 장비 연구개발, 인력교육 등을 아우르는 글로벌 플랫폼으로 만들 계획이다
클러스터 입주기업은 서플러스글로벌의 시설운영팀이 반도체 장비 유틸리티를 공용으로 사용해 시설투자비를 최소화할 뿐 아니라 중앙 집중식 유틸리티 공급으로 유틸리티를 안정적으로 공급받을 수 있다. 중앙 집중형 에너지 관리 시스템으로 전기요금 연간 10% 절감할 수 있고 물류 서비스 제공으로 물류·보관 비용의 효율화도 추구할 수 있다.
이외 사용 목적과 환경에 맞는 맞춤형 공간 제공 △다목적실, 공용 회의실, 헬스센터, 게임룸, 북카페, 카페테리아 등 편의시설 이용 △입주사별 개별 반출구 제공, 방문자 추적 시스템 등 맞춤형 보안 관리 등 다양한 이점을 누릴 수 있다.
글로벌 반도체 장비 기업 온투이노베이션은 고객을 대상으로 검사·계측·리소그래피 장비 실습과 유지보수 교육 전담을 위한 트레이닝센터를 현재 운영, 전문인력을 양성하고 있다. KLA코리아는 1200㎡ 규모의 고객 트레이닝 센터를 지난 3월부터 운영하고 있다. KLA가 전 세계에 구축한 트레이닝 센터 중 아홉 번째로 센터엔 강의실, 클린룸, 핸들러룸 등 반도체 고객 협업을 위한 다양한 시설을 보유하고 있다.
ASML은 극자외선(EUV) 라이브 모듈을 갖춘 글로벌 트레이닝 센터를 지난 5월부터 가동하고 있다. ASML EUV 장비 설치·유지보수를 담당하는 'CS 엔지니어'를 위한 심화 교육과 역량 강화 목적으로 설립했다.
ASML의 글로벌 트레이닝 센터는 약 1445㎡ 규모에 클린룸, 클래스룸, 오피스, 기타 편의 시설을 갖췄다. KSIA는 지난 6월 반도체 장비 클러스터에 300평 규모의 장비 실습장과 2개의 클래스룸을 개관하고, 인재 양성을 위한 실습 위주의 한국 반도체 아카데미를 운영하고 있다.
이큐글로벌은 무선주파수(RF) 발생기를 생산하며 연간 약 2000개가 넘는 RF 부품을 수리하는 등 국내외 반도체 기업들이 반도체 장비클러스터를 연구개발, 부품 생산, 장비 교육, 인력양성 등 다양한 목적을 지닌 전략적 기지로 활용하고 있다.
서플러스글로벌 관계자는 “고객들의 중고 장비 구매를 돕기 위해 780평 규모의 데모룸을 운영하고 있고 스테퍼, 트랙, CVD, 애처, CMP, 계측기 등 수천 억원대의 중고 장비 30여대를 가동하고 있다”라면서 “데모룸에서는 웨이퍼 공정 테스트까지 진행, 중고 장비 상태를 손쉽게 확인할 수 있다”라고 입주 이점을 설명했다.
회사 관계자는 또한 “반도체 장비·부품의 제품별로 요구하는 환경 특성에 맞는 다양한 공간을 운영하며, 보관·관리·운송 등 경험을 기반으로 현재까지 약 1만평 보관 공간에 P사, S사, A사, L사 등 국내외 반도체 관련 기업에 재고 장비·부품 등에 대해 보관, 관리 서비스를 제공하고 있다”라고 덧붙였다.
안수민 기자 smahn@etnews.com
