반도체와 디스플레이 제조 공정 중 배출되는 온난화지수(SWP) 온실가스와 질소산화물(NOx) 등 미세먼지 원인을 동시에 고효율 저감하는 기술이 있다.
한국에너지기술연구원이 이를 테크비즈코리아 2023에서 공개한다.
에너지연 연구진은 고 GWP온실가스를 고효율 분해·처리하기 위한 고성능 수소 전소, 혼소 연소시스템과 사이클론 디자인 반응기를 적용해 에너지 이용효율을 극대화했다.
또 금속착화합물 기반 신개념 흡수제, 재생기술 개발을 통한 고성능 습식 NOx 처리 후처리 기술도 적용했다.
이를 활용해 낮은 온실가스 분해 처리효율이나, 그동안 SCR 등 NOx 처리기술을 현실적으로 배출공정에 적용하기 어려웠던 점 등 기존 기술 문제점을 해소할 수 있다.
반도체와 디스플레이, 태양광, 실리콘웨이퍼 등을 제조하는 첨단 공정에 적용해 배출 오염물질을 크게 저감할 수 있다.
김영준 기자 kyj85@etnews.com
