나노엑스는 핀 사이 간격을 10마이크로미터(㎛) 이하로 구현한 마이크로발광다이오드(LED) 검사용 프로브카드를 양산한다고 10일 밝혔다.
마이크로 LED는 크기가 100마이크로미터(1㎛=100만분의 1m) 이하인 LED를 뜻한다. 나노엑스 프로브카드는 마이크로 LED에 핀을 접촉한 뒤 전기적 신호로 이상유무를 검사하는 데 쓰인다.
프로브카드는 핀 직경이 3㎛ 이하, 핀 간격이 10㎛ 미만으로 1028개 채널을 동시 접촉해 검사할 수 있다고 회사 측은 설명했다.
나노엑스는 최근 국내 대기업과 마이크로 LED 검사용 장비 및 프로브카드 성능 평가를 진행했으며, 외국 마이크로 LED 기업에 납품 계약을 체결했다고 덧붙였다.
회사는 완전 수직형 나노핀에 각각 핀별로 개별 탄성구조를 갖도록 하는 기술을 접목, 프로브카드의 검사 정확도를 높이고 손상률을 낮췄다고 강조했다.
김영호 기자 lloydmind@etnews.com
