진종욱 국가기술표준원 원장은 15일 국내 반도체 장비 기업 이솔(E-SOL)을 방문해 국제표준화 추진현황을 청취하고 지원방안을 논의했다.
이솔은 반도체 극자외선(EUV) 공정에 사용되는 마스크 계측·검사 장비 및 펠리클(Pellicle)의 투과도 검사 장비 등을 제작·판매하는 EUV 장비 제조업체다.
EUV 공정은 초미세 반도체 공정에서 EUV 광(光)이 미세회로가 그려진 마스크를 통해 웨이퍼에 회로를 새기는 방식이다. 펠리클은 마스크 위에 씌워져 미세먼지 등의 오염으로부터 마스크를 보호하는 박막이다. 펠리클의 EUV 투과도는 초미세 반도체 수율을 좌우한다.
이솔은 산업통상자원부 소재부품개발기술사업을 수행해 펠리클 투과도 검사장비를 개발했다. 해당 장비를 활용한 펠리클의 EUV 투과도 검사방법을 IEC에 신규 국제표준안으로 제안했다.
이번 표준안이 회원국의 투표를 통해 신규개발 항목으로 채택되고 향후 국제표준으로 발간되면 펠리클 품질 향상에 이바지할 것으로 보인다.
진종욱 국표원 원장은 “우리나라가 첨단 반도체 장비 분야로 국제표준을 확대하는 것은 고무적”이라면서 “제안된 신규표준안이 국제표준으로 최종 발간되도록 기업과 전문가의 국제표준화 활동을 적극 지원할 것”이라고 말했다.
윤희석 기자 pioneer@etnews.com
