경기 용인시는 올해 반도체 소재·부품·장비 기업 4곳의 기술개발을 지원했다고 27일 밝혔다.
경기도 기초지자체 최초로 차세대융합기술연구원이 보유한 고가의 연구 장비나 연구 시설을 기업의 제품 개발과 기술 실증에 활용할 수 있도록 도운 것이다.
용인시는 차세대융합기술연구원과 협력해 관내 기업이 연구원의 연구 장비나 시설을 20% 할인된 가격으로 이용할 수 있도록 했다. 또 장비 사용료의 70%, 기업 한 곳당 최대 400만 원까지 지원했다.
대상 기업은 반도체 장비 생산 기업인 테스와 디에스이테크, 반도체 후공정에 사용되는 부품을 제조하는 엠케이전자, 반도체 제조 공정에 쓰이는 식각액 등 특수 화학제품을 생산하는 이엔에프테크놀로지 등이다.
특히 이엔에프티크놀로지는 이번 지원을 통해 프로세스 케미컬 원재료의 순도 분석과 개발 제품 성능 분석 등을 진행해 고객사의 연구라인 평가에 진입하는 성과를 얻었고, 엠케이전자는 연구원이 보유한 전자빔으로 미세 구조물 시료 표면을 관찰하는 고분해 현미경 FIB 등의 연구 장비를 활용해 제품 성능 향상과 개발에 큰 도움을 얻었다.
또 테스는 연구 장비를 활용해 반도체 공정에서의 문제점을 파악하고 개선 방안을 도출해 장비 개발에 도움을 얻었다.
용인시는 내년부터 기업 한 곳당 최대 1000만 원까지 장비 사용료를 지원받을 수 있도록 지원 한도를 늘릴 계획이다.
시 관계자는 “앞으로도 더 많은 반도체 소부장 기업이 혜택을 받을 수 있도록 연구·개발(R&D) 지원 등 다양한 지원 사업을 운영해 나가겠다”고 말했다.
용인=김동성 기자 estar@etnews.com
