에스엠아이는 SK하이닉스에 오존수(DIO³) 공급장치를 납품할 수 있는 자격을 획득했다고 8일 밝혔다.
회사는 자체 개발한 '림피오(Limpio)-S30'가 SK하이닉스 기술운영위원회(TSC)로부터 장비 납품에 필요한 인증을 받았다고 설명했다.
오존수는 반도체 세정에 사용된다. 오염이나 이물질을 제거하는 세정은 수율과 직결돼 반도체 공정 사이마다 이뤄진다. 오존수 세정은 세정력을 세밀하게 조정할 수 있어 미세공정 수준이 높아질수록 활용도가 높다.
림피오-S30은 불순물을 제거한 초순수(DI·Deionized Water)에 오존(O³)을 용존시켜 오존수를 만든다. 세정 시 오존과 반응한 물질이 산화되는 방식이다. 황산과산화수소혼합(SPM) 등 다른 세정 방식과 달리 오존은 오존수가 오존분해장비를 거치면 산소(O²)로 환원돼 폐수처리가 용이하다.
에스엠아이는 쿼츠 방식 대비 전력 사용량이 적은 스택 구조 셀 방식을 채택, 사용 전력량 2kW를 달성했다고 설명했다. 현재 SK하이닉스가 사용하는 오존수 공급장치는 쿼츠 방식이라 최대 50%가량 소비전력 절감 효과를 기대할 수 있다.
회사는 그동안 한국반도체산업협회 주관으로 수요기업 SK하이닉스와 성능평가를 진행해왔다. 지난해 데모 테스트를 위한 장비 1대를 공급해 성능평가를 거쳤다. 향후 납품은 세정장비 파트너사인 엘에스이, 케이씨텍 등을 통해 이뤄질 것으로 예상된다.
에스엠아이 관계자는 “환경·사회·지배구조(ESG)경영이 중요해짐에 따라 폐수량 저감에 기여하는 오존수공급장치 수요도 늘어날 것으로 기대한다”이라고 말했다.
박진형 기자 jin@etnews.com
