[에듀플러스]“한양대, CH³IPS 혁신연구센터로 반도체 기술 한계 돌파한다…반도체 산업 초격차 확보 위한 도약”

CH³IPS 혁신연구센터 개소식에서 안진호 센터장(한양대 연구부총장, 신소재공학과 교수)이 인사말을 하고 있다. (사진=한양대)

혁신연구센터는 과학기술정보통신부가 세계적 수준의 연구 거점 구축을 지원하고자 2023년 새롭게 시작한 사업이다. 한양대 CH³IPS 혁신연구센터는 이 사업에 선정돼 과기정통부로부터 10년간 500억 원을 지원받는다. CH³IPS는 국내 유수의 교수진이 특별한 장비를 갖춘 집중연구시설에서 우수 반도체 인재를 양성하며, 지속 가능한 글로벌 대학 연구센터로 성장하고자 하는 목표를 갖는다.

한양대는 지난해 11월 18일 CH³IPS 혁신연구센터를 개소했다. CH³IPS는 'Center for Hyper-scale, Hyper-function, Heterogeneous-Integration Pioneering Semiconductor Technology'의 약자로 '극한 스케일·극한 물성·이종집적 한계극복 반도체기술연구센터'라는 의미다.

CH³IPS 혁신연구센터의 3가지 연구 분야는 △Hyperscale(초미세공정에 필수적인 소재와 공정 분야 혁신 기술) △Hyperfucntion(고성능 소자를 저전력에서 구동시킬 수 있는 혁신적 소자구조) △Heterogeneous integration(다양한 정보처리 반도체와 고성능 메모리를 융합하는 혁신 시스템 설계 및 이종 집적 기술)이다. 한양대 CH³IPS 혁신연구센터는 10년 내 3가지 연구 분야에서 각 10배씩, 총 1000배 성능을 향상시켜 첨단기술 신뢰도와 정확도를 확보한다는 계획이다.

한양대는 10년간 혁신연구센터 사업 기간 중 200명 이상의 S급 석·박사 졸업생을 배출할 것으로 예상한다. 한양대가 양성하는 우수 반도체 인재는 각 학문 분야에서 탄탄한 기초학문을 연마하고 최첨단 반도체 기술 분야를 연구해 졸업 후 독립적인 연구리더로 성장할 역량을 갖춘 고급 인력이다. 이를 위해 한양대는 △학과 간 장벽을 허무는 Integrated-Department △대학 간 장벽을 허무는 Inter-University △산업계와 연계하는 Industry-University 연계 교육을 통한 장벽 없는 미래 인재 양성을 추구한다.

특히 한양대가 준비 중인 '한양인터칼리지' 융합 교육 플랫폼을 통해 학부 과정 중 탄탄한 기초교육과 동시에 반도체 전공 대학원 진학에 필요한 필수 공통 반도체 관련 교육을 추진한다. 한양대의 최종 목표는 대학원 재학 중 CH³IPS 혁신연구센터가 수행하는 첨단 연구와 교육 연계를 통해 미래 반도체 핵심 인재를 양성하는 것이다.

CH3IPS 혁신연구센터는 목표를 달성하는 데 가장 도움이 될 만한 최고 인력으로 한양대 교수진 13명과 포항공대·KAIST·고려대·연세대에서 교수진 4명을 초빙했다. 참여 교수 연구 인프라의 공동 활용 목표는 하나의 Fab(제조)시설에서 다른 Fab 시설로 연계 공정을 통해 'Send Fab'을 운영하는 것이다. 중복투자를 줄이고 새로운 공정과 장비를 구축해 테스트할 수 있다. 해외 연구인프라 연계로 국제 경쟁력을 갖춘 연구환경을 확보하는 것도 또 다른 목표다.

한양대는 반도체 연구 교수진이 관련 연구에 함께 참여해 시너지 효과를 높일 수 있는 패키징 클린룸과 반도체 클린룸 공간을 마련했다. 앞으로 한양대는 반도체 공정장비 확보와 특별한 장비(EUV 현미경, 무손상 플라즈마 식각장비, 원자층 증착·식각 복합장비) 투자도 확대할 계획이다.

마송은 기자 running@etnews.com