유기발광다이오드(OLED) 핵심부품 제조기업 파인원이 정전척(ESC) 개발에 착수했다고 21일 밝혔다. 정보기술(IT)용 8.6세대 디스플레이 부품 시장 선점에 도전한다.
정전척은 8.6G 하프 사이즈(2290x1310㎜)를 사용하는 증착장비에서 정전기를 이용해 기판을 균일한 수평 상태로 유지하는 부품이다. 유리기판 대형화로 상향식 증착 방식이 늘어나는 추세에서 필수 부품으로 꼽힌다. 정전척을 적용하면 플레이트 냉각 성능 향상과 기판 온도 균일성도 확보할 수 있다.
파인원은 글로벌 증착기 장비업체와 정전척 검증을 진행 중이라고 설명했다. 정전척 제조는 플라즈마 코팅 기술과 전극패턴을 구현하는 것이 중요하다. 회사는 정전척 선제 투자로 제조 인력과 인프라를 구축, 양산에 대응할 준비가 완료됐다고 강조했다.
고재생 파인원 대표는 “기존 강점을 가진 마스크 어셈블리, 마그넷 플레이트 등 6세대 양산 시스템을 8세대로 확장하여 경쟁 우위를 갖추고 제품 포트폴리오도 다양화하겠다”면서 “기존 단일 제품 판매에 집중하는 경쟁사와 달리 정전척 추가 개발 등 차별화 전략으로 국내외 시장을 점유하겠다”고 말했다.
송윤섭 기자 sys@etnews.com
