[한국전자제조산업전] 스캔플러스, 저비용 고효율 광학 프로파일러 'Profilm3D' 소개

박막 표면 분석(두께, 단차, 조도, 응력, 면저항 등) 분야에서 토탈 솔루션 제공하는 스캔플러스는 2024년 4월 24일(수)부터 4월 26일(금)까지 서울 삼성동 코엑스에서 열리는 '한국전자제조산업전 2024'에 참가해 BP사인 미국 Filmetrics의 비접촉 광학 프로파일러 Profilm3D 모델을 선보인다.

Profilm3D 광학 프로파일러는 표면 프로파일과 거칠기를 측정하는 최첨단 비접촉 광학방식인 백색광 간섭계(WLI) 기술을 사용한다. 백색광 간섭계는 표면 프로파일과 거칠기를 0.05um까지 측정하며, 원자현미경(AFM)의 절반도 되지 않는 가격 이점을 가진다. 옵션 추가가 가능한 위상 편이 간섭계(PSI) 모드에서는 측정 가능한 최소 수직형상 사이즈를 0.001um까지 낮출 수 있다.

최신 버전의 Profilm3D 광학 프로파일러는 거칠고 반사율이 낮은 표면과 경사가 심한 측벽(sidewall)을 정확하게 측정해 이미지로 구현할 수 있는 거칠기 향상 모드(Enhanced Roughness Mode)를 갖추고 있다. 스캔플러스 이해강 대표는 “Profilm3D는 측정 레시피 설정이 단순하고 다양한 변경이 가능해 밀리미터에서 나노미터 스케일의 표면을 측정할 수 있으며, 한 지점 혹은 여러 지점을 자동으로 측정할 수 있어 연구소 및 생산 현장에 적용이 가능하다”고 전했다.

한편, 한국전자제조산업전은 국내 최대 규모의 전자 제조 산업 전시회로 국내외 바이어들로부터 많은 관심을 받으며, 명실상부한 국제 전시회로 성장하였다. 특히 오토모티브월드코리아로 확대 개최된 자동차 제조 산업 전시회는 매년 전시 기간 동안 참가업체와 관람객의 많은 주목을 받고 있으며, 올해는 그 규모가 더욱 확대될 예정이다. 전자 제조 및 자동차 제조 산업의 다양한 신기술과 장비를 확인할 수 있는 이번 행사에서는 다양한 세미나와 부대행사도 진행된다.

유은정 기자 judy6956@etnews.com