최근 각광받는 반도체 '유리기판(글래스 코어)'에 활용할 수 있는 공정 신규 약품을 국내 기업이 개발했다.
재원산업(대표 심재원)은 유리기판용 신규 공정 약품으로 기판 관통홀(GTV) 도금용 첨가제 3종을 개발했다고 21일 밝혔다.
국내 기판 제조사에 공급해 성능 평가를 마치고, 양산 적용성 검증 및 상업화를 추진 중이다.
유리기판은 새로운 조류로, 이종접합 패키지 시장 성장에 크게 도움을 주는 요소다.
지금은 온디바이스 인공지능(Al) 등장으로 고성능 반도체 모듈 요구가 증가하고, 모듈 고성능화를 위한 '이종접합' 패키지 시장이 빠르게 성장하는 시점이다.
다만 이종접합 기술은 기판에 여러 종류 칩을 담아 기판 면적 증가가 필수다. 면적 증가는 휨 현상에 따른 치수안정성 저하로 모듈 신뢰성이 나빠지는 결과를 낳을 수 있다. 또 이종 칩 간 신호 간섭으로 고속 데이터 처리가 어려워지는 문제도 있다. 기존 기판 소재는 휨, 신호 지연 등 단점으로 고성능 반도체 모듈 제조에 제약이 있었다.
이런 문제를 해소한 것이 유리기판이다. 최근 AMD 및 인텔이 주도해 유리기판을 개발, 시장이 전환점을 맞고 있다. 다수 기판 제조 관계사가 새로운 기판 시장 선점에 경합을 벌이는 상황이다. 당연히 기판 소재 변화에 따른 공정용 신규 약품 요구·수요가 높은 상황이다. 다만 유리기판에 쓸 도금용 첨가제는 일본과 독일 미국 업체에서 전량 수입하는 상황이다.
재원산업은 이에 유리기판 GTV 도금 첨가제 조액 기술, 첨가제 설계·합성 기술을 국산화했다. 이번 국산화는 국내 관련 기업이 원가경쟁력을 갖추는 데 큰 도움이 될 전망이다.
한편 재원산업은 유리기판 GTV 가공 후 남는 이산화규소 잔사를 세정할 세정제도 평가 예정이다.
김영준 기자 kyj85@etnews.com
