반도체장비 전문기업 이노맥스는 8인치 웨이퍼 공정(프로세스) 상용화 개발·테스트를 완료했다고 12일 밝혔다.
이노맥스는 프로세스 상용화를 통해 8인 웨이퍼 전용 세정 장비 개발을 마쳤다. 세계적으로 SiC(Silicon Carbide) 웨이퍼는 6인치까지 상용화됐지만, 8인치 상용화 경쟁이 치열하다. SiC 웨이퍼는 고주파, 고온, 고효율 응용 분야에서 우수한 성능을 발휘하는 친환경 반도체 소재다.
회사는 8인치 SiC 개발에 더해 GaN(Gallium Nitride) 웨이퍼 고도화에도 주력한다. 사내 프로젝트로 관련 역량을 강화하고, 고객사에 최적화한 서비스를 지원한다는 목표다.
회사는 현재 글로벌 반도체 기업에 6인치 웨이퍼 장비를 공급 중이다. 같은 기업과 8인치 프로젝트도 함께 수행 중이라는 설명이다.
이노맥스 관계자는 “SiC와 GaN 웨이퍼 기술력 강화를 통해 신시장 창출과 비즈니스 모델 고도화에 심혈을 기울일 계획”이라며 “국내 주요 반도체 메이커를 비롯해 일본 등 다양한 지역에서 파트너사를 보유하고 있는 만큼, 성공 레퍼런스를 확보하는 데 어려움이 없을 것”이라고 말했다. 이어 “20년 이상 쌓아온 업계 노하우에 베테랑 연구진 역량을 결집한 최신 설비를 선보여 반도체 산업 경쟁력 제고에 기여할 것”이라고 덧붙였다.
임중권 기자 lim9181@etnews.com
