한국생산기술연구원 서남실용화본부 나노기술직접센터는 '초소형 정밀기계 기술(멤스·MEMS) 기반 고부가 광반도체 상용화 인프라구축' 사업을 성공적으로 완료하고 본격적인 가동에 들어갔다고 14일 밝혔다.
2020년 6월부터 지난해 9월까지 국비 69억원과 시비 29억원 등 총 98억의 사업비를 투입한 이 사업은 광반도체 산업의 발전을 위해 멤즈 기반 광반도체의 개발, 실증, 시험 및 평가 인프라를 구축하고 국내 제품의 고도화 및 글로벌 시장 진출을 촉진하는 것을 목표로 한다.
핵심 장비로 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PE-CVD), 고속 식각 장비(Deep RIE), 노광기(Stepper) 등을 8인치 대응 장비로 신규 구축해 일괄 공정 라인을 완성했다. 이를 통해 지역내 멤스 센서 및 5세대(5G) 대응 소자 등 광반도체 관련 중소기업의 기술 수준이 크게 향상될 것으로 기대하고 있다.
사업 기간 광주지역내 광반도체 관련 수혜 기업의 성과도 빛났다. 매출은 174억원(7%) 늘었고, 고용 인력은 56명(8.7%) 이상 증가했다.
특히 프로는 하이브리드 광모듈 신제품으로 20억원의 매출을 기록하며 지난해 7월에는 산업부 장관상을 수상했다. 멤스는 수소센서 개발 및 사업화로 'CES 2024년'에서 중소기업 혁신상을 수상하는 성과를 거뒀다.
생기원 관계자는 “국내 광반도체 산업의 경쟁력을 향상시키고, 새로운 시장 진출을 촉진하는 역할을 수행하고 있다”며 “이러한 노력은 광반도체 산업을 주도하는 국가로의 발전에 기여할 것으로 기대한다”고 말했다.
광주=김한식 기자 hskim@etnews.com
