저스템은 마이크론이 건설하고 있는 미국 아이다호주 보이시 공장의 장비 성능 테스트를 통과했다고 8일 밝혔다.
회사는 지난달 말 보이시에 위치한 마이크론 기술혁신센터에서 N2 LPM 장비 평가를 마쳤다고 설명했다.
N2 LPM은 웨이퍼 운송 용기(FOUP)의 내부 습도를 제어하고 불순물을 제거해 수율 개선에 기여하는 장비다.
저스템은 지난 2019년부터 일본·대만·싱가포르 등에 위치한 마이크론 생산기지에 N2 LPM을 납품하고 있는데, 보이시 공장에 대해서도 장비 기술 검증을 받았다.
회사 측은 기존 생산 라인과 다른 보이시 신설 공장에서 N2 LPM이 정상적으로 작동되는지 확인하는 테스트를 받았다고 전했다.
마이크론은 내년 가동을 목표로 보이시에 D램과 고대역폭메모리(HBM) 생산 라인을 구축하고 있다.
김용진 저스템 최고기술책임자(CTO) 사장은 “현지 테스트를 성공적으로 마친 만큼 향후 장비를 지속 공급할 수 있을 것으로 보인다”고 말했다.
이호길 기자 eagles@etnews.com
