박막제작 전문업체 알파에이디티(ADT·공동 대표 황도원·황지섭)는 물리증착기술을 바탕으로 박막 증착 서비스를 주력 사업으로 삼고 있다. 반도체와 디스플레이, 광학 분야에서 필요한 다양한 종류의 박막 코팅을 할 수 있는 국내 유일의 파운드리 서비스 기술을 보유하고 있다.
특히 각종 금속박막, 산화물박막, 다층 박막, 분산 브레그 반사경(DBR) 박막(반사용 및 무반사용), 반도체 센서 박막, 극자외선(EUV) 블랭크 마스크 등 다양한 증착 서비스를 제공하고 있다. 반도체와 초소형 정밀기계 기술(MEMS), 바이오 메디칼, 광학소자 제조 등에 적용되는 신제품에 대한 고객의 요구를 충족시킬 수 있는 고품질 물리적 기상 박막증착(PVD)의 다양한 파운드리 서비스도 지원하고 있다.
지난 2021년 2월 설립한 알파에이디티는 나노급 수준의 고품질·고정밀 박막을 제작할 수 있다. 이미 국내 대기업 S사, L사, H사 등 다양한 고객사를 확보하고 있다. 고집적 메모리 반도체, 초박막 유연 디스플레이, 자율주행자동차, 5세대(5G) 이동통신 분야 등으로 광범위하게 진출했다.
이 회사의 광학 박막 코팅기술은 단일 박막 증착 공정과 다층 박막 및 화합물 박막 증착 공정, 고객 주문형 박막 설계 및 코팅, 광학 시뮬레이션 및 광 데이터 분석이 가능하다. 박막 설계 및 해석기술을 토대로 광 시뮬레이션을 활용한 다층 박막 설계, 고주파(RF) 플라즈마 및 유체 유동 해석, PVD 설비 구축 및 공정 제어 애플케이션을 제공한다. 8인치 다층 코팅과 광학 코팅 다층박막 시편을 제조할 수 있는 마그네트론 공동 스퍼터링 시스템과 전자빔 증발 시스템 등을 갖추고 있다. 초박막 관련 7건의 지식재산권을 보유하고 있다.
알파에이디티는 반도체·디스플레이 증착장비 전문회사인 '알파플러스'의 대표를 지낸 황도원 박사가 공동대표이자 최고경영자(CEO)를 맡고 있으며 황지섭 박사가 공동대표이자 최고기술경영자(CTO)로서 함께 회사를 이끌고 있다.
황도원 공동 대표는 진공 기술 분야에서 35년 이상의 경력을 갖고 있다. 포항산업과학연구원(RIST) 표면물리연구실, 포스코DX, 알파플러스 등을 거치며 진공 재료 기술과 재료의 물리적 특성에 대한 이해도가 깊다. 고품질 박막 기능 구현이 가능한 장비 개발 전문가다.
황지섭 공동대표는 한양대 및 한국과학기술연구원(KIST)에서 12년 이상 메타물질, 유연소자, 태양전지용 박막 등에 대한 연구를 수행했다. 재료의 물성 및 박막 설계 시뮬레이션에 탁월한 식견을 갖고 있다.
두 공동대표의 경험과 기술력은 알파에이디티가 차세대 반도체 박막 파운드리 분야에서 세계를 선도할 수 있는 위치를 확보하는 데 크게 기여할 것으로 평가받고 있다. 연구개발(R&D)에서부터 양산용 박막 파운드리 서비스까지 제공할 수 있는 맞춤형 장비 개발 및 고도화된 박막 공정 기술을 모두 확보하고 있다.
황지섭 공동대표는 “알파에이디티를 세계 일류 다층 박막 증착 파운드리 기업으로 성장시키고 EUV 관련 증착장비 분야에서도 세계 최고 수준의 기술을 보유한 기업으로 자리매김하겠다”고 말했다.
김한식 기자 hskim@etnews.com
