충북도는 29일 도청에서 청주시, 외국인투자기업 JSR마이크로코리아와 오창 외국인투자지역 내 반도체용 포토레지스트 생산공장 신설 투자 협약을 체결했다.
이번 협약은 오창 외투지역 내 2000㎡ 부지에 올해부터 2026년까지 3년간 반도체용 극자외선(EUV) 포토레지스트 생산공장 신설 투자와 도의 행정적 지원에 관한 내용을 담고 있다.
이번 투자는 앞서 4월 도 투자유치대표단이 일본 JSR 본사를 방문, 단장인 김명규 경제부지사가 에릭 CEO에게 직접 투자를 요청한 결과다.
JSR마이크로코리아는 세계적인 반도체 소재 제조사인 일본 JSR의 기술과 자본이 투입돼 설립된 100% 외국인 투자기업이다.
회사가 투자하는 EUV용 포토레지스트는 반도체 웨이퍼 표면에 회로 패턴을 형성하도록 도포하는 화학물질로, 반도체 핵심소재 품목 중 하나다. 특히 EUV용 무기포토레지스트인 금속산화물레지스트(MOR)는 기존 유기물 대비 빛 흡수율이 높은 초미세 반도체 공정 차세대 핵심 기술로, 충북 반도체 산업 공급망 안정화에 기여할 것으로 평가받는다.
JSR마이크로코리아는 2003년 오창에 설립돼 평판 디스플레이용 소재 생산에서 축적된 기술력을 바탕으로 성장해 왔으며, 이번 추가 투자를 통해 주요 고객사인 SK하이닉스와 삼성전자 등에 고품질, 고성능 반도체용 포토레지스트를 안정적으로 공급할 계획이다.
김영환 충북도지사는 “우수한 반도체 기업들이 밀집한 충북은 우리나라 반도체 산업 중심지“라며 ”이번 투자 협약이 반도체 분야 충북 위상을 확고히 하고 JSR마이크로코리아가 세계적인 반도체용 포토레지스트 제조기업으로 성장하는 발판이 되길 기대한다”고 말했다.
이인희 기자 leeih@etnews.com
