한국광기술원(원장 신용진)은 2일 옵토네스트 등 5개 기업과 극자외선(EUV) 반도체 및 적외선 특수 광학계용 광학소재부품기술 자립화와 국내 광학산업의 글로벌 경쟁력 확보를 위한 업무협약을 체결했다.
이번 업무협약은 특수광학계용 광학소재부품에서 핵심 역할을 수행하고 있는 한국광기술원이 주관하고 하스·그린광학·알파에이디티·옵토네스트·토핀스 등 5개 기업이 참여했다.
광기술원은 업무협약 기업과 EUV 반도체 및 특수 광학계용 광학소재부품 자립화를 위해 상호 협력하기로 했다. 참여기업과 △애로 기술 개발 △실증 지원 △협력 협의체 구성 등을 추진한다.
이번 협약은 산업통상자원부가 지원하는 소재부품기술개발사업의 공동기술개발과 기업지원 사업에 참여하는 주관 기업과 참여기관간 효율적 사업 수행을 위해 마련했다.
사업과제는 총 2개다. 먼저 '13.5나노미터(㎚) EUV 검사장비 광학계용 광학소재 부품 기술개발'이며, 총 사업비는 200억원, 사업기간은 7월부터 2028년 12월까지 54개월이다. 한국광기술원이 주관하고 하스, 알파에이디티, 그린광학이 참여한다. 이 과제는 EUV 노광장비 및 검사장비용 광원 및 핵심 광학 소재부품을 전량 해외 수입에 의존하는 기술 종속에서 탈피하기 위해 EUV 검사장비 반사광학계에 적용 가능한 극저열팽창 유리세라믹 광학소재, 고반사 반사경 제작 핵심기술 내재화 등을 추진한다.
또 다른 과제는 '단파장적외선(SWIR) 광학계용 고굴절 광학소재부품 기술개발'로 총 사업비와 사업기간은 같다. 광기술원이 주관하고 옵토네스트, 그린광학, 토핀스가 참여한다. 고부가가치 광학유리와 세라믹 광학소재 및 특수환경 영상관측용 단파장적외선 광학모듈 및 카메라 기술개발로 국내 공항, 항만, 연안 관제 해무환경 등에서 사고예방 및 안전을 위한 영상 실증을 진행한다.
신용진 원장은 “반도체 산업 초격차 기술확보를 위한 EUV와 신시장 창출이 가능한 단파장 적외선 광학소재부품까지 국산화 기틀을 마련해 국내 광학산업 경쟁력 강화와 자립화에 앞장서겠다”고 말했다.
광주=김한식 기자 hskim@etnews.com
