이큐테크플러스(대표 김용원)가 창업 8년 만에 반도체 증착 분야에서 주목받고 있다.
이 회사는 특히 차세대 반도체용 산화막 장비 개발에 성공, 국내외 시장에서 안정적인 성장세를 보이고 있다.
이큐테크플러스의 핵심 기술은 고밀도 라디컬 생성 기술로, 라디컬 산화 및 원자층 산화막 공정이 가능하며, 기존 장비 대비 우수한 성능을 자랑한다. 주로 디램과 낸드 디바이스의 게이트 산화막 공정에 적용되며, 실리콘 카바이드(SiC) 파워 디바이스 제조에도 활용된다.
또 이큐테크플러스의 장비는 고밀도, 저온, 등반 특성 등 장점을 갖고 있어 막의 균일성, 단차 피복성, 막 품질 등에서 뛰어난 성능을 보인다. 특히 낮은 온도에서 공정이 가능해 에너지 절감 효과가 있으며, 유해 가스를 사용하지 않아 환경 친화적이다.
이큐테크플러스는 글로벌 시장에서도 경쟁력을 인정받고 있다. 해외 선진 장비업체와 공동 개발을 통해 차별화된 기술을 확보했으며, 현재 여러 해외 업체와 디바이스 평가를 진행 중이다.
이큐테크플러스는 향후 전력소자 부문에서 글로벌 진출을 계획하고 있으며, 2027년 이후에는 평택 브레인 시티에 신공장을 설립해 본격적인 확대 생산에 나설 예정이다.
회사 관계자는 “10년 이상의 구상과 기술개발이 최근 국제 반도체 장비 재료 협회(SEMI) 제품인증으로 결실을 맺었다”며 “국내외 선진 장비사보다 우수한 기술이라고 자부하는 만큼 실제 디바이스에서 우수한 특성 확보 후 장비 매출 확대로 꼭 연결시키고 싶다”고 말했다.
수원=김동성 기자 estar@etnews.com
