삼성전자의 나노 리소그라피 기술

산업통상자원부가 주최하고 한국반도체산업협회, 한국반도체연구조합이 주관한 '반도체대전 2024'가 23일 서울 강남구 코엑스에서 사흘 일정으로 열렸다. 삼성전자 부스에서 관람객이 반도체 공정에 사용되는 나노 리소그라피 기술을 살펴보고 있다.

김민수기자 mskim@etnews.com