이노메트리가 중우엠텍(이하 JWMT)과 전략적 기술협약을 체결하고 유리기판 사업 분야에서 공동 개발을 추진한다고 24일 밝혔다.
이노메트리는 이차전지 내부를 엑스레이 또는 CT로 촬영, 분석해 불량을 찾아내고 화재를 예방하는 비파괴검사장비 전문업체다.
표면을 투과해 검사하기 때문에 물리적 손상 없이 내부를 확인할 수 있는데, 이노메트리는 JWMT와 반도체 유리기판 검사 기술을 개발할 계획이다.
구체적으로 '유리관통전극(TGV·Through Glass Via)' 제조용으로 개발한 비파괴검사장비 정밀도를 고도화하는 협업을 진행할 예정이다.
TGV는 기판의 중심인 코어층을 유리로 만들고 미세한 구멍을 뚫어 그 속을 구리로 채워 배선을 만드는 기술이다.
미도금, 충진불량, 기공(VOID) 생성 등 마이크로미터(㎛) 단위 작은 불량도 엑스레이·CT로 검사하면 광학, 초음파 등 기존 방식 대비 효과적으로 검출할 수 있을 것으로 기대했다.
JWMT는 레이저를 이용한 유리기판 미세가공 기술을 보유하고 있다. 특히 TGV 기술로 글로벌 대형 기판회사들과 상용화를 진행 중이며, 지난해 국내 공장에 월 5000장 규모 유리기판 양산라인 설치도 시작했다.
박성수 JWMT 대표는 “유리소재는 기판으로 쓰기 좋은 물성을 가지고 있음에도 가공이 어려워 진입장벽이 있었으나 이노메트리 검사기술과 제휴해 더욱 높은 품질의 유리기판 제품을 만들 것”이라고 말했다.
정현정 기자 iam@etnews.com
