[한국전자제조산업전] 스캔플러스, 저비용 고효율 광학 프로파일러 'Profilm3D' 소개

박막 표면 분석(두께, 단차, 조도, 응력, 면저항 등)분야에서 토탈 솔루션 제공이 가능한 제품 포트폴리오를 보유하고 있는 스캔플러스(대표 이해강)는 4월 16일(수)부터 18일(금)까지 코엑스에서 개최하는 '2025 한국전자제조산업전'에 참가해 BP사인 미국 Filmetrics사(A KLA Company)의 비접촉 광학 프로파일러 Profilm3D 모델을 선보인다.

원자현미경(AFM)의 절반도 안되는 가격임에도 불구하고 Profilm3D 광학 프로파일러는 표면 프로파일과 거칠기를 측정하는 최첨단 비접촉 광학방식인 백색광 간섭계(WLI) 기술을 사용한다.

백색광 간섭계는 표면 프로파일과 거칠기를 0.05um까지 측정하며, 저비용으로 옵션 추가가 가능한 위상 편이 간섭계(PSI) 모드에서는 측정 가능한 최소 수직형상 사이즈를 0.001um까지 낮출 수 있다.

한편, 한국전자제조산업전은 국내 최대 규모의 전자 제조 산업 전시회로 국내외 바이어들로부터 많은 관심을 받으며, 명실상부한 국제 전시회로 성장하였다. 특히 오토모티브월드코리아로 확대 개최된 자동차 제조 산업 전시회는 매년 전시 기간 동안 참가업체와 관람객의 많은 주목을 받고 있으며, 올해는 그 규모가 더욱 확대될 예정이다. 전자 제조 및 자동차 제조 산업의 다양한 신기술과 장비를 확인할 수 있는 이번 행사에서는 다양한 세미나와 부대행사도 진행된다.

유은정 기자 judy6956@etnews.com