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    “포토마스크 없다”…반도체 초비상

    반도체 공정에 필요한 포토마스크 수급에 비상이 걸렸다. 내년에도 공급 부족으로 가격이 최대 25%까지 급등하고 납기가 지연될 것으로 우려된다. 포토마스크 수급난이 가중되면서 포트로닉스(옛 피케이엘)·토판·...

    2022-11-07 13:55
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    그린광학, EUV용 블랭크 마스크 연마 기술 첫 개발

    그린광학이 반도체 노광장비인 극자외선(EUV)용 블랭크 마스크 석영 기판 연마 기술을 개발했다. EUV 블랭크 마스크는 반도체 웨이퍼에 초미세 회로를 새길 때 사용하는 포토마스크 원재료다. 일본 호야, 아사히글라...

    2022-10-10 11:11
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